全新一代用于300mm晶圆量产工艺的卧式系统
多工艺应用卧式晶圆批量处理系统
用于硅基半导体研发与生产的立式晶圆工艺系统
用于SiC 和其他材料在氩气、氮气和氢气气体氛围下的高温退火工艺
高温氧化炉用于SiC氧化和氧化前/后退火工艺的
硅基及化合物半导体快速热处理系统(RTP)
应用于太阳能电池膜层沉积的高产能PECVD设备
用于太阳能电池大规模生产的先进低压扩散设备
多功能多板式真空烧结系统
用于研发与中试规模生产的真空焊接系统
直接铜键合马弗炉（DCB）
用于研发和批量生产的灵活输送带炉
宽晶带隙晶体高温退火及热处理应用系统
碳纤维原丝固化低压氧化炉
实验室连续式纤维低温碳化炉
实验室连续式纤维石墨化超高高温炉
用于陶瓷纤维生产的链式炉
