卧式晶圆工艺

centrotherm 的 c.HORICOO 200 是一款经过大量现场验证的多功能卧式炉系统， 基于客户需求可灵活选择大、中批量生产以及研发类型机台。

在多种工艺应用中，它都表现出可靠的工艺能力及优异的工艺性能，如：常压与低压扩散、以及LPCVD工艺。其工艺炉管可配置不同的工艺应用设施。一个系统中可配置常压、真空或混合气体炉管。

全部炉管配置有集成的晶舟搬运系统以及晶圆传送系统进行自动传送。炉管加热器外壳为水冷结构，可将炉管间的热干扰降至最低。软着陆系统设计可反复定位炉管中的晶圆，并与晶圆装载相独立。易于维护确保了低运行成本及高正常运行时间。