VERTICAL

centrotherm 的 c.VERTICOO系列设备适用于半导体器件制造中的批量晶圆工艺。其独特设计的工艺腔室及加热系统为各种常压工艺和低压LPCVD工艺提供最大限度的灵活性。

该独立式运行系统可作为高产量型设备用于大批量生产，也可作为迷你型设备用于研发及小批量生产。其两种规格都具有性能高、占地面积小、运行成本低、且维护方便等突出优点。

其高产量炉 c.VERTICOO 200 的主体结构为单个工艺炉管匹配双晶舟运载装置和全自动花篮到花篮晶圆处理系统，批处理量达150片晶圆，确保了产能最大化。

小批量产炉c.VERTICOO Mini可满足半导体器件的研发需要，同时降低客户的使用成本，批处理量达50 片晶圆。