扩散

c.DIFF 是 centrotherm 开发的一款多用途扩散系统，可在高效太阳能电池制程中形成可靠的发射极。该低压扩散系统可应用于P型和N型晶体硅太阳能电池的生产。

得益于其宽泛的工艺窗口和灵活的工艺控制性能，即使在方阻为180Ω/sq 的情况下，c.DIFF LP 仍可提供优质、可重复的均匀发射极。管式设备的独特优势在于其在不同生产负荷和工艺顺序中的高度灵活性，当其中一根炉管处于维修、关闭或工艺优化时，其他炉管仍可继续工作。

依工厂情况，如：产能要求、操作压力以及自动化水平等要求，我们可提供定制化设备。

除了已投放市场的具有最大灵活性和多工艺能力的5管c.DIFF LP外，近期推出的c.DIFF X 可大大提升产能。10根炉管配置，处理硅片直径达210mm，c.DIFF X是特别为多GW高效p型太阳能电池生产商而开发的。