凭借其成熟且广泛应用的 c.PLASMA 技术平台,centrotherm 开发出一款在太阳能电池生产领域最畅销的PECVD设备之一。该成熟的批量处理系统采用直接等离子体技术,已成为无可争议的行业标杆。
全新开发的 c.PLASMA Q MAX 不仅仅是对现有系统平台的升级。该系统每小时可处理多达10,000片硅片,堪称太阳能电池生产领域的一次“量子飞跃”。
原有的多层堆叠管式结构设计已被彻底重新构建,并由单一工艺腔体取代,可在一次运行中同时处理 3 个已装载硅片的石墨舟。得益于全新的创新技术,c.PLASMA Q MAX 在 PECVD 工艺中实现了前所未有的工艺时间。
为确保高设备稼动率,开发的重点在于便捷的运维与保养。所有系统部件均易于检修,且工艺腔室配备了自动开盖机构。
除了显著降低特气耗量与总拥有成本外,该系统还具备极佳的生态平衡性,并显著降低了二氧化碳排放。