PECVD
市场上生产效率最高、成本效益最优的PECVD系统


凭借其成熟且广泛应用的 c.PLASMA 技术平台,centrotherm 开发出一款在太阳能电池生产领域最畅销的PECVD设备之一。该成熟的批量处理系统采用直接等离子体技术,已成为无可争议的行业标杆。

全新开发的 c.PLASMA Q MAX 不仅仅是对现有系统平台的升级。该系统每小时可处理多达10,000片硅片,堪称太阳能电池生产领域的一次“量子飞跃”。

原有的多层堆叠管式结构设计已被彻底重新构建,并由单一工艺腔体取代,可在一次运行中同时处理 3 个已装载硅片的石墨舟。得益于全新的创新技术,c.PLASMA Q MAX 在 PECVD 工艺中实现了前所未有的工艺时间。

为确保高设备稼动率,开发的重点在于便捷的运维与保养。所有系统部件均易于检修,且工艺腔室配备了自动开盖机构。

除了显著降低特气耗量与总拥有成本外,该系统还具备极佳的生态平衡性,并显著降低了二氧化碳排放。

工艺

  • 氮化硅(SiNx)沉积
  • 掺杂/非掺杂多晶硅(PolySi)沉积

特点&优点

完全重新设计的平台

  • 每小时处理量最高可达10,000片硅片
  • 可同时处理3个石墨舟
  • 冷壁反应腔(铝制腔室)
  • 全新先进的气体注入与排气系统
  • 无需石英管
  • 相比标准管式系统,稼动率大幅提升

单片硅片低运营成本与资本支出

  • 气体消耗量降低65%
  • 能耗显著降低
  • 维护需求低
  • 每GW占地面积小