Mit seiner bekannten Technologieplattform c.PLASMA hat centrotherm eine der meistverkauften Anlagen für PECVD-Prozesse in der Solarzellenproduktion entwickelt. Das bewährte Batch-System mit Direktplasmatechnologie hat sich als unangefochtener Industriestandard etabliert.

Die neu entwickelte c.PLASMA Q MAX ist weit mehr als nur ein Update der bestehenden Plattform. Mit bis zu 10.000 prozessierten Wafern pro Stunde sorgt das System für einen Quantensprung in der Hochvolumen-Solarzellenfertigung.

Das bisherige Design der Mehrrohr-Anlage wurde vollständig überarbeitet und durch eine einzelne Prozesskammer ersetzt, in der drei beladene Graphitboote in einem Run verarbeitet werden können. Dank seiner neuen, innovativen Technologie erreicht c.PLASMA Q MAX eine bislang unerreichte Prozesszeit in der PECVD-Verarbeitung. Um eine hohe Anlagenverfügbarkeit sicherzustellen, lag der Schwerpunkt der Entwicklung auf einer einfachen Wartung und Instandhaltung. Alle Systemkomponenten sind leicht zugänglich und die Prozesskammer verfügt über einen automatischen Öffnungsmechanismus.

Neben erheblichen Einsparungen beim Medienverbrauch und den Gesamtbetriebskosten zeichnet sich das System durch eine sehr gute ökologische Bilanz und einen minimierten CO₂-Fußabdruck aus.