日常生活中的智能伙伴

MEMS技术

当你去看手机，或者当你的手机屏幕朝向握着的方向时，你的智能手机显示屏会自动打开。当你的车滑行后稳定下来、或者当你的安全气囊在适当的时候打开时，你即可确定微机电系统（简称MEMS）正在工作。

MEMS也被称为许多产品和应用的感觉器官。如果没有它，汽车、工业、航空航天、医疗和消费电子等行业将是无法想象的。特别是汽车行业，因于电气化和自动驾驶的增加，对MEMS的需求也在迅速增长。同时，MEMS在制造业和与工业4.0和物联网等相关的消费电子领域也在迅速崛起。

什么是MEMS器件?

MEMS是一种将电子逻辑元件和微机械结构结合在一块芯片上的微型器件。

微机械元件通常由硅制成的。例如，根据应用的不同，可移动3D梳状结构或膜被蚀刻在晶圆表面上，其中有一些空间层次落差远低于一微米，远比人类的头发还要细。他们测量最小的外部影响，如压力，运动，光，甚至气体。如果梳状结构在加速度传感器中相互移动，梳状结构之间的电荷就会发生变化。

电子电路（ASIC）受到环境变化，将其转换为数字值，并将其传递给设备的控制器或微控制器，例如，汽车。硅也被用作基材，如多层绝缘层和掺杂层交替的应用。

微机械元件和电子元件是分开生产的。在进一步的生产过程中，它们通过线桥相互连接，再封装到成品芯片中。

对于MEMS的制造，centrotherm为晶圆的加工提供了LPCVD和氧化工艺，即所谓的前段制程（FEOL）工艺。在成品芯片的封装中，我们提供有密封环境下的真空焊接系统。