DCB

直接铜键合马弗炉(DCB)

c.DCB是成熟的传送带式马弗炉,该设备在直接铜键合(DCB)应用上提供了可靠的工艺方案及优秀的工艺性能,以确保经济和高效的生产。

PLC系统通过总线连接用以监视和控制所有相关的工艺参数。并通过对记录的工艺数据自动归类和质量管控使系统更加完善.

设备工艺通道腔室内的气体纯度和气体流量对产品质量起着核心作用。所有c.DCB有优秀的气密包裹性,且具有优良的温度和工艺气体控制性能。

工艺

  • 直接铜键合

选配

  • 使用热电偶的综合剖析系统

半导体和微电子销售

Tel. +86 21 6162 1018 8429
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ECSCRM
ECSCRM
Vinci International Convention Centre Tours, France

特点&优点

  • 优异的交叠区温度均匀性(<1%)
  • 各加热区温度单独控制,可方便进行温度分布的调整
  • N2吹扫气帘及工艺腔N2氛围分别由独立的气体系统控制
  • 工艺腔配置张紧器
  • 传送带配置松紧器
  • 氧浓度侦测仪
  • 键合区和预热区域配置有氧气流量控制器
  • 配置S型热电偶
  • 手动操作传送带轮用于停电时进行皮带传送
  • 工艺腔外壳主动冷却设计
工艺灵活性高

工艺灵活性高

气封马弗炉

气封马弗炉

总购置成本低

总购置成本低

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