THICK FILM

用于研发和批量生产的灵活输送带炉

centrotherm 成熟可靠、高度灵活的柔性传送带炉c.FLEXCON专为各种厚膜应用而研发。该设备可提供极高的工艺产能以确保经济和高效的生产。

PLC系统通过总线连接用以监视和控制所有相关的工艺参数。并通过对记录的工艺数据自动归类和质量管控使系统更加完善。

设备工艺通道腔室内的气体纯度和气体流量对产品质量起着核心作用。centrotherm的c.FLEXCON有优秀的气密包裹性,且具有优良的温度和工艺气体控制性能。

在工艺腔内通以平缓的空气流用以确保最佳的工艺条件,同时用以及清除挥发性有机化合物(VOCs)。

基于在链式炉工艺领域的专业知识,在提供标准设备外,我们还可根据客户的需求和应用场景提供定制化传送带炉。详情请与我们联络

工艺

  • 厚膜(Thick film)
  • 多层陶瓷电容(MLCC)
  • 低温共烧陶瓷(LTCC)

选配

  • 最大工艺温度高达1150℃
  • N2 气体管路
  • O2 气体管路
  • N2/H2混合气体管路(N2/H2比例:95/5)
  • 超声波传送带清洗
  • 超声波槽自动液位补充
  • 侧壁加热用以提升温度均匀性:±1.5 K (400mm宽传送带)
  • 主动式冷却工艺腔外壳设计

半导体和微电子销售

Tel. +86 21 6162 1018 8429
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CS MANTECH
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特点&优点

  • 优异的交叠区温度均匀性
  • 良好气密性的马弗炉腔体
  • 平稳的基底传送
  • 配备8-10组独立温度控制加热区可方便进行温度分布的调整
厚膜

厚膜

高温工艺

高温工艺

气封马弗炉

气封马弗炉

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