SINGLE PLATE

Vakuumlötanlagen für F&E und Produktion im Pilotmaßstab

Die centrotherm c.VACUNITE Anlagenplattform für Kontaktwärme-Applikationen deckt ein breites Spektrum an thermischen Vakuumprozessen ab. Die Versionen 24, 12 und 6 sind für Anwendungen in Forschung und Entwicklung mit einem hohen Anspruch an die Prozessleistung sowie für die Produktion im Pilotmaßstab ausgelegt. Beim Vakuumlöten erfüllen die Systeme höchste Anforderungen des lunkerfreien Lötens für Advanced Packaging und Leistungshalbleiter-Anwendungen. Die von Lunkern betroffene Fläche kann auf weniger als 1% reduziert werden, während herkömmliche Reflow-Lötsysteme bei 5% liegen.

Der c.VACUNITE gewährleistet schnelle Aufheiz- und Abkühlraten für kurze Taktzeiten und erreichen Temperaturen bis 450 °C.

c.VACUNITE Vakuumlötsysteme ermöglichen Prozesse unter hochreiner und sauerstofffreier Atmosphäre und bieten Oberflächenaktivierung mit 100% Wasserstoff (H2), Ameisensäure (HCOOH), Formiergas (N2H2) und/oder zusätzlichem MW-Plasma. Alle Systeme sind für 100% Paste und Flussmittel geeignet.

Der Prozessleitrechner ist mit einem benutzerfreundlichen Touchscreen zur Bedienung, Prozessprofilbearbeitung und Rezeptspeicherung ausgestattet. Ein Zugang über Ethernet- und USB-Schnittstellen ermöglicht die Verbindung mit Druckern, externen Speichergeräten und den Fernzugriff.

Prozesse

  • Leistungshalbleiter-Anwendungen
  • Advanced Packaging
  • Hybride mikroelektronische Baugruppen
  • Optoelektronische Aufbauten
  • Hermetische Gehäuseversiegelung
  • Wafer-Level-Packaging
  • UHB-LED-Gehäuse
  • Versiegelung von MEMS-Gehäusen
  • Glas-Bonden
  • Kupfer-Annealing
  • Thermische Prozesse in verschiedenen Atmosphären
  • Schutzgas | Annealing | Oxidation

Optionen

  • Reiner Wasserstoff (H2)
  • MW-Plasmagase: H2, N2H2, ArH2, Ar, O2
  • Vakuumsystem mit Trockenpumpe
  • Kundenspezifische MES-Schnittstelle

Vertrieb Halbleiter & Mikroelektronik

Tel. +49 7344 918 6794
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ECSCRM
ECSCRM
Vinci International Convention Centre Tours, Frankreich

Features & Benefits

  • Ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit ±0,5 %
  • 100% geeignet für Paste und Flussmittel
  • Unabhängige und individuell steuerbare Gasleitungen
  • Flussmittel-Management
  • Fernzugriff für Service
  • Kühlwasserversorgung durch offenes Wasserkühlsystem oder Hauswasserversorgung
  • Sicherheits-SPS
  • Wartungsfreundlicher Aufbau gewährleistet eine hohe Anlagenverfügbarkeit
HCOOH

HCOOH

100% Paste und Flussmittel

100% Paste und Flussmittel

Wasserstoffatmosphäre

Wasserstoffatmosphäre

Automatischer Betrieb

Automatischer Betrieb

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