Innovative Thermal Solutions

Equipment

Alle Waferherstellung Leistungshalbleiter MEMS Optoelektronik Back-End Photovoltaik Faserherstellung

Horizontalanlage für 300 mm-Waferprozessierung im Hochdurchsatz

Horizontalanlage für vielfältige Einsatzmöglichkeiten

Vertikalanlage für Silizium-Halbleiterprozesse in F&E- und Produktionsumgebung

RTP-Anlage für Silizium- und Verbindungshalbleiter

Flexible Vakuumlötanlagen mit Mehrfach-Heizplatten

Vakuumlötanlagen für F&E und Produktion im Pilotmaßstab