centrotherm präsentiert neue Produktionslösungen für die Halbleiterindustrie auf der SEMICON Europa in München

• Neuer Hochtemperatur-Prozess verdoppelt den Wafer-Durchsatz und reduziert die Prozessdauer um 50 Prozent
• Anlagen-Cluster für die Massenproduktion von 300 mm Wafern

Zum Auftakt der SEMICON Europa stellt centrotherm (ISIN: DE000A1TNMM9 und DE000A1TNMN7) dem internationalen Publikum neue durchsatzstarke Produktionslösungen für die Herstellung von Leistungshalbleitern vor.

Für den centrotherm Horizontalofen c. HORICOO 200 wurde ein Drive-in-Prozess bei 1320°C entwickelt, der den Durchsatz von Siliziumwafern verdoppelt bzw. die Prozessdauer um 50 Prozent reduziert. Hierzu wurde ein neuartiges Heizkonzept in den Horizontalofen implementiert. Die Zuverlässigkeit und Leistungsfähigkeit des Prozesses wurde in der Massenfertigung demonstriert.

Mit dem c.HORICOO 300 betritt centrotherm das Feld für die Massenproduktion von 300 mm Siliziumwafern. Das Anlagencluster verfügt über acht Prozessrohre, die vollautomatisiert von einem Roboter beladen werden. Dadurch wird der Wafer-Durchsatz signifikant erhöht. Der durchsatzstarke c.HORICOO 300 überzeugt wie alle centrotherm Horizontalöfen durch exzellente Temperaturuniformität und Prozessstabilität, die von Kunden in der Halbleiterindustrie hoch geschätzt werden. Eine platzsparende Side-by-Side-Installation des Clusters sorgt für eine optimale Nutzung des Reinraums und damit für niedrige Betriebskosten.

Über centrotherm international AG

Thermische Produktionslösungen und Beschichtungstechnologien zählen zu den Kernkompetenzen von centrotherm. Seit über 70 Jahren entwickeln und realisieren wir Produktionskonzepte für einen stetig wachsenden internationalen Kundenkreis. Neben Wachstumsbranchen wie der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie sowie der Photovoltaik finden unsere innovativen Lösungen auch in neuen Zukunftsfeldern wie der Faser- oder Batterieherstellung Anwendung.

Als führender, global agierender Technologiekonzern arbeiten wir eng mit Partnern aus Industrie und Forschung zusammen. Wir verbessern bestehende Produktionskonzepte und setzen neue Trends. So generieren wir werthaltige Wettbewerbsvorteile für unsere Kunden. Weltweit arbeiten über 700 Mitarbeiter an der Gestaltung der Zukunft – GREEN | SMART | EFFICIENT.

centrotherm international AG
Württemberger Str. 31
89143 Blaubeuren
Internet: www.centrotherm.de
WKN: A1TNMM (Inhaberaktien); A1TNMN (nicht notierte Aktien aus Sachkapitalerhöhung)
ISIN: DE000A1TNMM9 (Inhaberaktien); DE000A1TNMN7 (nicht notierte Aktien aus Sachkapitalerhöhung)
Einbeziehung: Freiverkehr (Basic Board) Frankfurter Wertpapierbörse
Firmensitz: Deutschland