MULTI PLATE

Flexible Vakuumlötanlagen mit Mehrfach-Heizplatten

Die Multiplatten-Lötanlagen c.VACUNITE 300 und 180 sind für thermische Vakuumprozesse an verschiedenen Materialien in der großvolumigen Produktion entwickelt worden. Die Systeme erfüllen die höchsten Anforderungen an das ultrareine lunkerfreie Löten für Advanced Packaging und Leistungshalbleiter-Anwendungen. Mit der c.VACUNITE 300A, die mit einer automatischen Schwenktür ausgestattet ist, bietet centrotherm darüber hinaus eine hervorragende Lösung für vollautomatische Produktionslinien.

Je nach Anwendung ermöglichen die Anlagen schnelle Aufheiz- und Abkühlraten für kurze Taktzeiten und großen Durchsatz bei Temperaturen bis 650 °C.

c.VACUNITE ermöglicht Prozesse in hochreiner und sauerstofffreier Umgebung und bietet Oberflächenaktivierung mit 100% Wasserstoff (H2), Ameisensäure (HCOOH), Formiergas (N2H2) und/oder zusätzlichem MW-Plasma. Alle Systeme sind für 100% Paste und Flussmittel geeignet. Die von Lunkern betroffene Fläche kann auf weniger als 1% reduziert werden, während übliche Reflow-Lötsysteme bei 5% liegen.

Der Prozessleitrechner ist mit einem benutzerfreundlichen Touchscreen zur Bedienung, Prozessprofilbearbeitung und Rezeptspeicherung ausgestattet. Ein Zugang über Ethernet- und USB-Schnittstellen ermöglicht die Verbindung mit Druckern, externen Speichergeräten und den Fernzugriff.

Prozesse

  • Leistungshalbleiter-Anwendungen
  • Advanced Packaging
  • Hybride mikroelektronische Baugruppen
  • Optoelektronische Aufbauten
  • Hermetische Gehäuseversiegelung
  • Wafer-Level-Packaging
  • UHB-LED-Gehäuse
  • Versiegelung von MEMS-Gehäusen
  • Glas-Bonden
  • Kupfer-Annealing
  • Thermische Prozesse in verschiedenen Atmosphären
  • Schutzgas | Annealing | Oxidation

Optionen

  • Reiner Wasserstoff (H2)
  • Integrierter HCOOH-Bubbler
  • Vakuumsystem mit Trockenpumpe
  • Kundenspezifische MES-Schnittstelle
  • 6 Thermoelemente zur Aufzeichnung der Oberflächentemperatur

Vertrieb Halbleiter & Mikroelektronik

Tel. +49 7344 918 6794
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ECSCRM
ECSCRM
Vinci International Convention Centre Tours, Frankreich

Features & Benefits

  • Ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit ±0,5 %
  • 100% geeignet für Paste und Flussmittel
  • Unabhängige und individuell steuerbare Gasleitungen
  • Flussmittel-Management
  • Partikelfrei
  • Anlagenverfügbarkeit > 98.5%
  • Kühlwasserversorgung durch offenes Wasserkühlsystem oder Hauswasserversorgung
  • Sicherheits-SPS
  • Bedienung über 19 Zoll Touchscreen
  • Fernzugriff für Service
  • Wartungsfreundlicher Aufbau gewährleistet eine hohe Anlagenverfügbarkeit
HCOOH

HCOOH

100% Paste und Flussmittel

100% Paste und Flussmittel

Wasserstoffatmosphäre

Wasserstoffatmosphäre

Automatischer Betrieb

Automatischer Betrieb

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