• Entwicklung neuer Anlagengeneration für 200 mm Siliziumcarbid-Wafer
• centrotherm als Projektpartner beim Europäischen Forschungsprojekt REACTION

Die centrotherm international AG, Blaubeuren, (ISIN: DE000A1TNMM9 und DE000A1TNMN7) steuert mit der neuen Anlagengeneration für 200 mm Siliziumcarbid-Wafer in Richtung Zukunft. Die Nachfrage nach Hochleistungselektronik wie Transistoren und Dioden steigt mit der zunehmenden Digitalisierung, e-Mobilität und erneuerbarer Energiegewinnung rasant an. Zur Wandlung großer elektrischer Leistung werden meist auch Bauteile mit höherer Spannungsfestigkeit benötigt. Für diese Anwendungen weisen Halbleiterbauelemente aus Siliziumcarbid (SiC) eine bessere Effizienz, höhere Temperaturbeständigkeit und Zuverlässigkeit in harscher Umgebung auf.

centrotherm ist mit seinen Hochtemperaturöfen zum Post Implantation Annealing und Hydrogen Annealing von 150 mm SiC-Wafern mit einem Marktanteil von rund 95% führender Anbieter. Weltweit sind centrotherm Anlagen bei renommierten Herstellern in Produktion. Mit der neuen Anlagengeneration c.ACTIVATOR 200 und c.OXIDATOR 200 bietet der Technologie- und Anlagenlieferant nun Produktionslösungen für größere Wafer bei Temperaturen von bis zu 2.000 C° bzw. 1.500 C°. Die Vorteile für die Halbleiterindustrie liegen auf der Hand. Mit 200 mm SiC-Wafern können Halbleiter-hersteller ihre Kosten um bis zu 23 % senken und gleichzeitig die Leistungsfähigkeit und Sicherheit ihrer Produkte verbessern. Der geringe Footprint der centrotherm Anlagen, die hohe Produktivität sowie die Side-by-Side-Installation tragen zur weiteren Kosteneinsparung bei. Beide Anlagentypen setzen auf die gleiche Plattform auf und können als sogenanntes Bridge-Tool die Wafergrößen 150 mm und 200 mm prozessieren.

centrotherm ist Projektpartner des Europäischen Forschungsprojekts REACTION zur Errichtung der ersten europäischen 200 mm SiC-Produktionslinie im italienischen Catania. Im kommenden Jahr werden die Hochtemperaturöfen c.ACTIVATOR 200 und c.OXIDATOR 200 nach Catania geliefert. Das REACTION-Projekt wird von der EU und dem Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) im Rahmen des Forschungsprogramms ECSEL (Electronic Components and Systems for European Leadership) gefördert.

Besuchen Sie uns auf der SEMICON Europa vom 12. bis 15. November in der Messe München, Halle B1 /313.

Über centrotherm international AG

Thermische Produktionslösungen und Beschichtungstechnologien zählen zu den Kernkompetenzen von centrotherm. Seit über 70 Jahren entwickeln und realisieren wir Produktionskonzepte für einen stetig wachsenden internationalen Kundenkreis. Neben Wachstumsbranchen wie der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie sowie der Photovoltaik finden unsere innovativen Lösungen auch in neuen Zukunftsfeldern wie der Faser- oder Batterieherstellung Anwendung.

Als führender, global agierender Technologiekonzern arbeiten wir eng mit Partnern aus Industrie und Forschung zusammen. Wir verbessern bestehende Produktionskonzepte und setzen neue Trends. So generieren wir werthaltige Wettbewerbsvorteile für unsere Kunden. Weltweit arbeiten über 650 Mitarbeiter an der Gestaltung der Zukunft – GREEN | SMART | EFFICIENT.

centrotherm international AG
Württemberger Str. 31
89143 Blaubeuren
Internet: www.centrotherm.de
WKN: A1TNMM (Inhaberaktien); A1TNMN (nicht notierte Aktien aus Sachkapitalerhöhung)
ISIN: DE000A1TNMM9 (Inhaberaktien); DE000A1TNMN7 (nicht notierte Aktien aus Sachkapitalerhöhung)
Einbeziehung: Freiverkehr (Basic Board) Frankfurter Wertpapierbörse
Firmensitz: Deutschland