DIFFUSION

Der Industriemaßstab für die Niederdruck-Diffusion von Solarzellen

c.DIFF ist centrotherm's etablierte und vielseitige Anlagenplattform für Diffusionsprozesse, die eine stabile Emitterbildung bei der Herstellung von Hochleistungssolarzellen gewährleistet. Der zuverlässige Niederdruck-Prozess kann sowohl bei der Herstellung von p-Typ als auch n-Typ Silizium-Solarzellen eingesetzt werden.

Dank seiner großen Prozessfähigkeit ermöglicht c.DIFF selbst bei hohen Schichtwiderständen von 200 Ω/sq eine hervorragende und reproduzierbare Emitterhomogenität. Die großen Vorteile der Rohranlage sind die Flexibilität bezüglich variierenden Produktionslasten und des Prozessablaufs sowie die Aufrechterhaltung des Betriebs bei Wartung, Abschaltung oder Prozessoptimierung einzelner Rohre.

Je nach kundenspezifischen Produktionsanforderungen bietet centrotherm verschiedene Konfigurationen, z. B. hinsichtlich Betriebsdruck, Kapazität und Automatisierungsgrad.

Neben der etablierten 5-Rohr-Version c.DIFF LP, die sich durch maximale Flexibilität und ein großes Prozessfenster auszeichnet, ist seit kurzem auch c.DIFF X zur Steigerung der Produktionskapazität verfügbar. Ausgestattet mit 10 Rohren und ausgelegt für Waferdurchmesser bis 210 mm wurde c.DIFF X speziell für Multi-GW-Produzenten von hocheffizienten p-Typ Solarzellen entwickelt.

Prozesse

  • Niederdruck-Diffusion
  • Diffusion in Atmosphärendruck
  • Oxidation
  • Annealing

Optionen

  • Prozessrohre und -boote aus Siliziumcarbid
  • Anbindung an eine POCl3 Nachfülleinheit

Vertrieb Photovoltaik

Tel. +49 7344 918 8900
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Features & Benefits

Niedrigste Betriebskosten

  • Niedriger Medien- und Stromverbrauch (bis zu 50% POCl3 und bis zu 75% BBr3)
  • Minimierte Gesamtbetriebskosten durch geringen Platzbedarf und geringen Wärmeeintrag in die Produktion
  • Ausgereiftes Wasserkühlungssystem verhindert thermische Interferenzen zwischen verschiedenen Rohren

Maximale Flexibilität

  • Vollautomatisches Boothandling für maximale Rohrauslastung
  • Unabhängig steuerbare Prozessrohre bieten Redundanz und hohe Verfügbarkeit
  • An die Produktionskapazität angepasste Konfiguration (Anzahl der Rohre, Back-to-Back-Beladung, Automatisierungsgrad)
  • Einfache Anbindung an MES oder Produktionssteuerungssysteme
  • Kompatibel mit allen gängigen Automatisierungslösungen

Prozessierung von Hocheffizienz-Solarzellen

  • Hervorragende Homogenität bei hohen Emitterwiderständen (250 Ω/square)
  • Ausgezeichnete Diffusionsergebnisse auf beiden Waferseiten (Gettering-Effekt verbessert die Materialqualität)
  • Höchste Reinheit (Rückstandslose Gasphasendiffusion)
  • Diffusionsprozesse der nächsten Generation für fortschrittliche Zellkonzepte, z. B. TopCon
  • Schneller Wechsel der Gasatmosphäre ermöglicht neue Diffusionsrezepte und die Feinabstimmung der Emitterprofile
Wafergrößen bis 210 mm

Wafergrößen bis 210 mm

Maximale Prozessflexibilität

Maximale Prozessflexibilität

Niedrige Gesamtbetriebskosten

Niedrige Gesamtbetriebskosten

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