PECVD

全球装机量超过1250台，centrotherm 的PECVD 平台 c.PLASMA 在太阳能电池钝化和抗反射涂层领域拥有技术领先地位，为行业树立了新标杆。该系统集高产能、优异工艺性能及低运营成本于一体，可确保在不同的生产负荷和工艺顺序下平稳运行。

针对不同尺寸的硅片、产能及产量，centrotherm主要提供有两种配置。

除了用于166mm 硅片的5-管设备外，centrotherm 还推出了新一代 c.PLASMA X，推动了光伏产业的发展。基于久经验证的平台，它为高产能设置了新标准。10管设计同样为 210mm 的硅片提供了最大灵活性和系统可用性。最值得称道的是，它将TMA供应柜和真空泵集成在设备内部，从而显著节省了占地面积。