扩散

用于太阳能电池大规模生产的先进低压扩散设备

c.DIFF 是 centrotherm 开发的一款多用途扩散系统,可在高效太阳能电池制程中形成可靠的发射极。该低压扩散系统可应用于P型和N型晶体硅太阳能电池的生产。

得益于其宽泛的工艺窗口和灵活的工艺控制性能,即使在方阻为180Ω/sq 的情况下,c.DIFF LP 仍可提供优质、可重复的均匀发射极。管式设备的独特优势在于其在不同生产负荷和工艺顺序中的高度灵活性,当其中一根炉管处于维修、关闭或工艺优化时,其他炉管仍可继续工作。

依工厂情况,如:产能要求、操作压力以及自动化水平等要求,我们可提供定制化设备。

除了已投放市场的具有最大灵活性和多工艺能力的5管c.DIFF LP外,近期推出的c.DIFF X 可大大提升产能。10根炉管配置,处理硅片直径达210mm,c.DIFF X是特别为多GW高效p型太阳能电池生产商而开发的。

工艺

  • 低压扩散工艺
  • 常压扩散工艺
  • 氧化工艺
  • 退火工艺

选配

  • 碳化硅(SiC)工艺炉管和舟
  • 与POCl3供给系统相连接

光伏销售

Tel. +86 21 61621018
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SNEC PV Power Expo
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中国上海 新国际博览中心

特点&优点

低成本投入

  • 低物料及动力消耗(POCl3节省高达50%, BBr3节省高达75%)
  • 因小占地和低热负载,设备的使用成本可大幅降低
  • 先进的水冷却系统可防止不同炉管间的热干扰

最大灵活性

  • 全自动舟操作系统,可使炉管的利用率达到最大
  • 独立操作的工艺管可提供冗余,从而提高设备利用率
  • 与生产能力相匹配的配置(如:炉管数量、背靠背装载方式及自动化级别)
  • 易于集成于MES或生产控制系统中
  • 与所有常规自动化解决方案相兼容

高效太阳能电池工艺

  • 高方阻(250 Ω/square) 下可实现极佳的扩散均匀性
  • 硅片两面优异的扩散效果(扩展的吸杂效应可改善材料的质量)
  • 极高的清洁度(气相扩散没有残余)
  • 应用于先进太阳能电池理念的下一代扩散工艺,如TopCon
  • 气体气氛的快速改变可建立新的扩散条件,进而更好的调整发射极的掺杂曲线
晶圆尺寸达210mm

晶圆尺寸达210mm

工艺灵活性高

工艺灵活性高

总购置成本低

总购置成本低

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