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c.DIFF LP Niederdruck-Diffusionsofen

Niederdruck-Diffusionsofen c.DIFF LP
Vakuum-Schließmechanismus des c.DIFF LP
Prozessboot Diamantstellung

Rohrofen für Niederdruck-Diffusionsprozesse

Der centrotherm Niederdruck-Diffusionsofen c.DIFF LP ist vielseitig und setzt Maßstäbe bei der Emitterbildung von Hochleistungssolarzellen. Das Niederdrucksystem wird sowohl bei der Herstellung von kristallinen p-Typ als auch bei n-Typ Solarzellen eingesetzt.

c.DIFF LP bietet dank seiner breiten und flexiblen Prozess- und Leistungsfähigkeit auch bei hohen Emitterwiderständen von 180 Ω eine hervorragende Homogenität.

Der Ofen verfügt über eine hohe Flexibilität hinsichtlich schwankender Produktionsauslastung und Prozessvariation. Die separate Steuerung der einzelnen Prozessrohre stellt zudem den fortlaufenden Betrieb bei Wartung oder Abschaltung einzelner Rohre sicher.

c.DIFF LP kann flexibel an die Produktionsumgebung des Kunden angepasst werden, inbesondere hinsichtlich der Kapazität und des Automatisierungsgrades.

Features

  • Prozessierung von Hocheffizienzsolarzellen
    • Hervorragende Homogenität bei hohen Emitterwiderständen (250 Ω/square)
    • Diffusionsprozesse der nächsten Generation für fortschrittliche Zellkonzepte, z. TopCon
    • Schneller Wechsel der Gasatmosphäre ermöglicht neue Diffusionsrezepte und die Feinabstimmung der Emitterprofile
  • Niedrigste Betriebskosten
    • Minimierter Platzbedarf durch Reduzierung der Anzahl der Produktionsanlagen bei gleicher Kapazität
    • Niedriger Medien- und Stromverbrauch (bis zu 50% POCl3 und bis zu 75% BBr3)

Prozesse

  • Niederdruck-Phosphordiffusion (POCl3)
  • Niederdruck-Bordiffusion (BBr3)
  • Optional atmosphärische Diffusion (POCl3, BBr3, BCl3)
  • Feuchte und trockene Oxidation (optional: DCE, HCl)
  • Annealing (z.B. N2, H2)
  • Weitere Prozesse auf Anfrage