c.DEPO LP LPCVD-Anlage

c.DEPO LP LPCVD-Anlage
PV Magazine's "Technology Highlights 2018"

LPCVD-Rohranlage für die Abscheidung undotierter oder in-situ-dotierter Polysiliziumschichten

Die Rohranlage c.DEPO LP wurde für die LPCVD-Abscheidung von n+- und p+-dotierten passivierten Kontakten auf kristallinen Siliziumwafern entwickelt.

Auf der Basis seiner weitreichenden Prozesskompetenz in der Halbleiterindustrie und den bewährten durchsatzstarken High-Tech-Rohranlagen ermöglicht centrotherm mit der LPCVD-Anlage c.DEPO LP die Massenproduktion von hocheffizienten Solarzellen mit passivierten Kontakten.

Dank seiner großen und flexiblen Prozessfähigkeit bietet c.DEPO LP exzellente und reproduzierbare Ergebnisse im Hinblick auf Prozessergebnis und Passivierungsqualität.

Prozesse

  • LPCVD

ISFH POLO-Solarzelle

POLO Solarzelle

Das Institut für Solarzellenenergieforschung (ISFH), Hameln, hat eine POLO-Solarzelle entwickelt, die mit einem Wirkungsgrad von 26,1 % den aktuellen Weltrekord auf einem kristallinen p-Typ-Wafer hält.centrotherm hat für seinen Forschungs- und Entwicklungspartner ISFH die Polysiliziumschicht der POLO-Solarzelle in einem LPCVD-Prozess abgeschieden.

Die centrotherm LPCVD-Produktionsanlage c.DEPO LP wurde vom PV Magazine global in den „Technology Highlights 2018“ ausgezeichnet und belegt Platz 5 der 25 innovativsten Produktionslösungen für die Photovoltaikindustrie.