Produktionsequipment

Rohrofen für Diffusion, Oxidation und Annealing

Rohrofen für Diffusion, Oxidation und Annealing in der Solarzellenproduktion

    Prozesse

    • Diffusion (POCl3, BBr3, BCl3)
    • Annealing
    • Feuchte und trockene Oxidation (optional: DCE, HCl)
    • Weitere Prozesse auf Anfrage
Diffusionsofen, Rohrofen für Oxidation & Annealing: c.DIFF

Durchlaufofen für das Feuern und Sintern der Metallkontakte 

Durchlaufofen für das Feuern und Sintern der Metallkontakte in der Solarzellenproduktion

    Prozesse

    • Durchfeuern der Vorderseitenkontakte
    • Legierung der Rückseitenkontakte
    • Trocknung von Metallpasten
Feuerofen Durchlaufofen mit Trockner: c.FIRE

Regenerationsofen für die Reduzierung des LID-Effekts

Regenerationsofen für die Minimierung der lichtinduzierten Degradation (LID)

    Prozesse

    • Solarzellen-Regeneration    
    • Passivierung von B-O-Defekten
Solarzellen-Regeneration für LID Reduktion: c.REG

Rohranlage für Forschung & Entwicklung

Rohranlage für Forschung & Entwicklung

    Prozesse

    • Atmosphärisch
      Diffusion | Oxidation | Sintern | Annealing
    • Niederdruck
      Oxid | Nitrid | Oxinitrid
    • LPCVD
      Polysilizium | Siliziumnitrid | Oxid | Oxinitrid
F&E Anlage für Diffusion, Oxidation CVD Prozesse: c.LAB