Rohrofen für Niederdruck-Diffusionsprozesse
Rohrofen für Niederdruck-Diffusionsprozesse
- POCl3 Diffusion
- BBr3 Diffusion
Produktionsequipment
PECVD-Anlage für Passivierung und Nitridbeschichtung
PECVD-Anlage für die Passivierung und Nitridbeschichtung von Solarzellen
- SiNx PECVD
- SiOx PECVD
- SiONx PECVD
- AlOx PECVD
- Multi-Layer
Prozesse
LPCVD-Anlage für passivierte Kontakte
LPCVD-Rohranlage für die Abscheidung undotierter oder in-situ-dotierter Polysiliziumschichten
- LPCVD
Prozesse
Durchlaufofen für das Feuern und Sintern der Metallkontakte
Durchlaufofen für das Feuern und Sintern der Metallkontakte in der Solarzellenproduktion
- Durchfeuern der Vorderseitenkontakte
- Legierung der Rückseitenkontakte
- Trocknung von Metallpasten
Prozesse
Regenerationsofen für die Reduzierung des LID-Effekts
Regenerationsofen für die Minimierung der lichtinduzierten Degradation (LID)
- Solarzellen-Regeneration
- Passivierung von B-O-Defekten
Prozesse
Rohranlage für Forschung & Entwicklung
Rohranlage für Forschung & Entwicklung
- Atmosphärisch
Diffusion | Oxidation | Sintern | Annealing - Niederdruck
Oxid | Nitrid | Oxinitrid - LPCVD
Polysilizium | Siliziumnitrid | Oxid | Oxinitrid