Rohrofen für Niederdruck-Diffusionsprozesse

Rohrofen für Niederdruck-Diffusionsprozesse
- POCl3 Diffusion
- BBr3 Diffusion
Rohrofen für Niederdruck-Diffusionsprozesse
Rohrofen für Niederdruck-Diffusionsprozesse
PECVD-Anlage für Passivierung und Nitridbeschichtung
PECVD-Anlage für die Passivierung und Nitridbeschichtung von Solarzellen
LPCVD-Anlage für passivierte Kontakte
LPCVD-Rohranlage für die Abscheidung undotierter oder in-situ-dotierter Polysiliziumschichten
Durchlaufofen für das Feuern und Sintern der Metallkontakte
Durchlaufofen für das Feuern und Sintern der Metallkontakte in der Solarzellenproduktion
Regenerationsofen für die Reduzierung des LID-Effekts
Regenerationsofen für die Minimierung der lichtinduzierten Degradation (LID)
Rohranlage für Forschung & Entwicklung
Rohranlage für Forschung & Entwicklung