Rohrofen für Diffusion, Oxidation und Annealing
Rohrofen für Diffusion, Oxidation und Annealing in der Solarzellenproduktion
Rohrofen für Niederdruck-Diffusionsprozesse
Rohrofen für Niederdruck-Diffusionsprozesse
PECVD-Anlage für Passivierung und Nitridbeschichtung
PECVD-Anlage für die Passivierung und Nitridbeschichtung in der Solarzellenproduktion
LPCVD-Anlage für passivierte Kontakte
LPCVD-Rohranlage für die Abscheidung undotierter oder in-situ-dotierter Polysiliziumschichten
Durchlaufofen für das Feuern und Sintern der Metallkontakte
Durchlaufofen für das Feuern und Sintern der Metallkontakte in der Solarzellenproduktion
Regenerationsofen für die Reduzierung des LID-Effekts
Regenerationsofen für die Minimierung der lichtinduzierten Degradation (LID)
Rohranlage für Forschung & Entwicklung
Rohranlage für Forschung & Entwicklung
