c.LAB R&D Anlage

R&D Anlage
Diffusion R&D Anlage
Technologen R&D Anlage

Rohranlage für Forschung und Entwicklung

Die centrotherm F&E-Rohranlage ist für die vielseitigen Prozessanforderungen der Forschung und Entwicklung in der Solarzellenproduktion konzipiert. Neben der Prozessierung kleiner Chargen eignet sich die Anlage auch hervorragend für große Chargen, beispielsweise zur Evaluierung von Prozessergebnissen in Produktionsumgebung.

Die Rohranlage zeichnet sich durch eine exzellente Prozess-Performance, eine kleine Stellfläche sowie niedrige Gesamtbetriebskosten aus und bietet eine hohe Prozessflexibilität für eine Vielzahl verschiedener Anwendungen.

Features

  • Bis zu 4 unabhängig betriebene Quarzrohre (optional: SIC)
  • Je nach Prozess wählbare Kammeroptionen (verfügbar in 2- oder 4-Rohrausführung)
  • Saubere automatisierte Bootbeladung (Soft Lander)
  • Prozessierung kleiner (F&E) und auf die Produktion ausgelegter Chargen (Evaluation)
  • Wasser-Kühlsystem vermeidet eine gegenseitige thermische Beeinträchtigung der Prozessrohre
  • Minimierte Wärmebelastung der Produktionsumgebung
  • Modularer Aufbau ermöglicht einfache Installation und Inbetriebnahme

Prozesse

  • Atmosphärisch
    - Diffusion (POCl3, BBr3, optional: B2H6, PH3)
    - Nass- und Trockenoxidation (optional: DCE, HCl)
    - Sintern der Kontakte
    - Annealing
  • Niederdruck
    - LP POCl3
    - LP BBr3
  • PECVD
    - Oxid
    - Nitrid
    - Oxinitrid
  • LPCVD
    - Polysilizium (dotiert und undotiert)
    - Siliziumnitrid
    - Oxid (TEOS, LTO, HTO, etc.)
    - Oxinitrid