c.DIFF Niederdruck-Diffusionsofen

c.DIFF X
c.DIFF LP
Prozessboot Diamantstellung

Der Industriemaßstab für die Diffusion von Solarzellen

c.DIFF ist  centrotherm's etablierte und vielseitige Anlagenplattform für Diffusionsprozesse, die eine stabile Emitterbildung bei der Herstellung von Hochleistungssolarzellen gewährleistet. Der zuverlässige Niederdruck-Prozess kann sowohl bei der Herstellung von p-Typ als auch n-Typ Silizium-Solarzellen  eingesetzt werden.

Dank seiner großen Prozessfähigkeit ermöglicht c.DIFF selbst bei hohen Schichtwiderständen von 200 Ω/sq eine hervorragende und reproduzierbare Emitterhomogenität. Die großen Vorteile der Rohranlage sind die Flexibilität bezüglich variierenden Produktionslasten und des Prozessablaufs sowie die Aufrechterhaltung des Betriebs bei Wartung, Abschaltung oder Prozessoptimierung einzelner Rohre.

Je nach kundenspezifischen Produktionsanforderungen bietet centrotherm verschiedene Konfigurationen, z.B. hinsichtlich Betriebsdruck, Kapazität und Automatisierungsgrad.

Neben der etablierten 5-Rohr-Version c.DIFF LP, die sich durch maximale Flexibilität und ein großes Prozessfenster auszeichnet, ist seit kurzem auch c.DIFF X zur Steigerung der Produktionskapazität verfügbar. Ausgestattet mit 10 Rohren und ausgelegt für Waferdurchmesser bis 210 mm wurde c.DIFF X speziell für Multi-GW-Produzenten von hocheffizienten p-Typ Solarzellen entwickelt.

Features

  • Prozessierung von Hocheffizienzsolarzellen
    • Hervorragende Homogenität bei hohen Emitterwiderständen (250 Ω/square)
    • Diffusionsprozesse der nächsten Generation für fortschrittliche Zellkonzepte, z. TopCon
    • Schneller Wechsel der Gasatmosphäre ermöglicht neue Diffusionsrezepte und die Feinabstimmung der Emitterprofile
  • Niedrigste Betriebskosten
    • Minimierter Platzbedarf durch Reduzierung der Anzahl der Produktionsanlagen bei gleicher Kapazität
    • Niedriger Medien- und Stromverbrauch (bis zu 50% POCl3 und bis zu 75% BBr3)

Prozesse

  • Niederdruck-Phosphordiffusion (POCl3)
  • Niederdruck-Bordiffusion (BBr3)
  • Optional atmosphärische Diffusion (POCl3, BBr3, BCl3)
  • Feuchte und trockene Oxidation (optional: DCE, HCl)
  • Annealing (z.B. N2, H2)
  • Weitere Prozesse auf Anfrage