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c.DIFF LP Niederdruck-Diffusionsofen

Niederdruck-Diffusionsofen c.DIFF LP
Vakuum-Schließmechanismus des c.DIFF LP
Prozessboot Diamantstellung

Rohrofen für Niederdruck-Diffusionsprozesse

Mit der Entwicklung des Niederdruck-Diffusionsofens setzt centrotherm neue Maßstäbe bei der Emitterbildung von kristallinen p-Typ und n-Typ Solarzellen.

Mit Hilfe des neuen Niederdruck-Diffusionsprozesses erreichen unsere Kunden eine hervorragende Homogenität bei Emitterwiderständen von 150 Ω/Square. Dank ihres hohen Durchsatzes und des geringen Medienverbrauchs produziert die Anlage leistungsstarke Solarzellen mit niedrigen Gesamtbetriebskosten auf geringer Produktionsfläche.

Der Ofen verfügt über eine hohe Flexibilität hinsichtlich schwankender Produktionsauslastung und Prozessvariation. Die separate Steuerung der einzelnen Prozessrohre stellt zudem den fortlaufenden Betrieb bei Wartung oder Abschaltung einzelner Rohre sicher.

Features

  • Hervorragende Homogenität bei hohen Emitterwiderständen und sehr guter Reproduzierbarkeit
  • Prozessierung von p-Typ und n-Typ Solarzellen
  • Diffusion auf beiden Waferseiten
    (Qualitätssteigerung durch rückseitigen Gettereffekt)
  • Hohe Verfügbarkeit durch Redundanz
  • Höchste Reinheit (rückstandsfreie Gasphasendiffusion)
  • Konfiguration je nach Produktionskapazität
    (Anzahl Prozessrohre, optionale back-to-back Beladung)
  • Bis zu 5 unabhängig betriebene Quarzrohre
  • Niedriger Medienverbrauch
  • Einsparung von Stellfläche

Prozesse

  • Phosphordiffusion (POCl3)
  • Bordiffusion (BBr3)