c.DIFF Diffusionsofen

Diffusionsofen zur Herstellung von Solarzellen
Diffusionsofen installiert bei einem Kunden
Mit Wafern beladenes Prozessboot

Rohrofen für Diffusion, Oxidation und Annealing in der Solarzellenproduktion

centrotherm ist mit einer Branchenerfahrung von über 30 Jahren einer der weltweit führenden Anbieter von Rohröfen für Diffusions- und Oxidationsprozesse für die Halbleiter- und PV-Industrie.

Der Diffusionsofen c.DIFF erfüllt die vielseitigen Anforderungen der Solarzellen-Massenproduktion und gewährleistet aufgrund seiner hohen Prozesssicherheit eine herausragende Reproduzierbarkeit in der Emitterbildung. Der POCl3-Diffusionsprozess von centrotherm gewährleistet eine hervorragende und rückstandsfreie Gasphasendiffusion sowie eine zuverlässige Realisierung eines hohen Emitterwiderstandes.

Ein weiterer Vorteil des c.DIFF Rohrofens ist seine hohe Flexibilität hinsichtlich schwankender Produktionsauslastung und Prozessvariation. Je nach Anforderung, Kapazität und Automatisierungsgrad sind verschiedene Ausführungen verfügbar.

Die separate Steuerung der einzelnen Prozessrohre stellt zudem den fortlaufenden Betrieb bei Wartung oder Abschaltung einzelner Rohre sicher.

Features

  • Diffusion auf beiden Waferseiten (Qualitätssteigerung durch Gettereffekt)
  • Hohe Verfügbarkeit durch Redundanz
  • Höchste Reinheit (rückstandsfreie Gasphasendiffusion)
  • Konfiguration je nach Produktionskapazität (Anzahl Prozessrohre, optionale back-to-back Beladung)
  • Vollautomatischer Boottransport garantiert eine maximale Rohrauslastung
  • Modularer Aufbau ermöglicht einfache Installation und Inbetriebnahme sowie eine Integration in bestehende Produktionslinien
  • Bis zu 5 unabhängig betriebene Quarzrohre
  • Wasser-Kühlsystem vermeidet eine gegenseitige thermische Beeinträchtigung der Prozessrohre
  • Minimale Wärmebelastung der Produktionsumgebung und kleine Stellfläche vermindern die Gesamtbetriebskosten

Prozesse

  • Diffusion (POCl3, BBr3, BCl3)
  • Annealing
  • Feuchte und trockene Oxidation (optional: DCE, HCl)
  • Weitere Prozesse auf Anfrage