c.VLO 300 A

c.VLO 300 A Automatisierter Vakuumlötofen
c.VLO 300 A Vakuumlötofen mit  automatischer Beladetür
c.VLO 300 A Vakuumlötofen

Automatisiertes Vakuumlöten für die Massenproduktion

Der automatisierte Vakuumlötofen c.VLO 300 A verfügt über eine automatische Beladetür und ermöglicht Lötprozesse im Temperaturbereich bis 450°C in der Massenproduktion. Die Anlage kann in automatisierte Produktionslinien integriert werden und der Durchsatz durch die modulare Konzeption stufenweise gesteigert werden. Ein einzelner Roboter kann eine bis vier Anlagen beschicken. 

c.VLO 300 A basiert auf dem bewährten modularen VLO-Konzept, das höchste Flexibilität aufweist. Der Kunde hat die Möglichkeit, für verschiedenste Applikationen im Bereich  MEMS, Leistungshalbleiter, Advanced Packaging sowie Optoelektronik eine Vielzahl an Prozessgasen einzusetzen. Grundsätzlich kann die Anlage auch für viele andere Applikationen und Produkte verwendet werden.

Das Basismodel mit einem Kammervolumen von 300 l ist mit Stickstoff- und Wasserstoffgaslinien ausgestattet. Je nach Kundenprodukt, Applikation und zu lötende Materialien können zwei weitere Gaslinien hinzugefügt werden. Die gesamte VLO-Produktfamilie bietet die Möglichkeit, Prozesse mit folgenden aktivierenden Gasen zu fahren: N2, H2 (100 %), N2/H2 (95/5 %).

Die Software und Rezepterstellung zeichnet sich durch den gewohnten Komfort über einen Touch Panel PC aus. Für die Rückverfolgbarkeit können sämtliche Prozessparameter (Temperatur, Druck, Gasflüsse, etc.) ausgewertet werden.

Features

  • Prozesstemperaturen bis 450°C
  • hohe Temperaturstabilität
  • Aufheizrate bis zu 250 K/min
  • Abkühlrate bis zu 180 K/min
  • Vakuum von bis zu 10-5 mbar
  • sehr kurze Taktzeit (< 5 Minuten)

Anwendungen

  • Advanced Packaging
  • Power Semiconductors
  • Hybrid Microelectronic Assemblies
  • Optoelectronic Packaging
  • Hermetic Package Sealing
  • Wafer Level Packaging
  • UHB LED Packaging
  • MEMS Package Sealing
  • Thermische Prozesse in unterschiedlicher Atmosphäre
  • Schutzgas
  • Annealing
  • Oxidation