c.HORICOO 300

c.HORICOO 300

Durchsatzstarker Horizontalofen für 300 mm Wafer

Die centrotherm c.HORICOO 300 ist ein 300 mm Wafer Horizontalofen-Cluster für eine hocheffiziente Massenproduktion. Die Anlagenplattform besteht aus zwei Öfen mit bis zu 4 Prozess-Rohren, die mit einer zentralen Automatisierungseinheit beladen werden.

Das Heizsystem gewährleistet eine maximale Temperaturgleichmäßigkeit und Stabilität. Das centrotherm Hydrox-System ermöglicht auch Nassoxidationsprozesse mit verschiedenen Feuchtgraden. Temperaturen bis 1200 °C  ermöglichen schnellere Oxidations- und kürzere Drive-In-Prozesse.