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c.HORICOO 200

c.HORICOO 200
Bootbeladung Horizontalanlage
Prozessrohr Horizontalanlage

Horizontalofen für vielseitige Anwendungen

Der erprobte centrotherm c.HORICOO 200 ist eine sehr vielseitige Ofenplattform, die je nach Ausführung für die Massen- bis zur Kleinserienproduktion und Forschung & Entwicklung geeignet ist. Der Horizontalofen bietet eine zuverlässige Prozess- und Leistungsfähigkeit für eine vielzahl an Anwendungen, wie atmosphärische, Niederdruck- und LPCVD-Prozesse. Die Prozessrohre sowie die zugehörige Versorgung sind dementsprechend für unterschiedliche Anwendungen konfigurierbar (AP, Vakuum, gemischt).

Alle Modelle sind mit einem integrierten Boot-Handling für die Ablage von bis zu 8 Prozessbooten sowie einem integrierten Wafertransfer-System ausgestattet. Externe Einflüsse werden durch wassergekühlte Heizkassetten und einem Softlanding-System minimiert. Die kundendienstfreundliche Wartung sichert niedrige Betriebskosten und eine hohe Uptime.

Features

  • Geeignet für atmosphärische sowie PECVD- und LPCVD-Prozesse
  • Prozessspezifische Konfiguration einzelner Rohre des Horizontalofens 
  • Fortschrittliches Wasser-Kühlsystem zur Vermeidung gegenseitiger Beeinflussung der Prozessrohre
  • Modularer Aufbau zur schnellen Installation und Inbetriebnahme

 

Prozesse

  • Annealing
  • Diffusion
  • Oxidation
  • LPCVD
  • PECVD

Optionen

  • Integrierter Lift zum automatisierten Bootshandling
  • Integrierte Bootsspeicher zur Pufferung und Kühlung der Prozessboote
  • Vollautomatisches Wafer-Transfer-System mit Cassette-to-Cassette Handling
  • Fast-Cool-System