c.E2000

Horizontalofen c.E2000
Bootbeladung Horizontalanlage
Prozessrohr Horizontalanlage

Horizontalofen für die Massenproduktion

Speziell für die Serienproduktion konzipiert zeichnet sich der centrotherm c.E2000 durch eine hohe Prozessleistung, maximalen Durchsatz sowie niedrige Wartungskosten und eine kleine Stellfläche aus.

Der Ofen verfügt über eine flexible Prozessfähigkeit und ist mit bis zu 5 Etagen-Quarz- oder SiC-Prozessrohren für Wafergrößen bis 200 mm (4 Etagen für Wafergrößen bis 300mm) ausgestattet.

Features

  • Geeignet für atmosphärische sowie PECVD- und LPCVD-Prozesse
  • Prozessspezifische Kammeroptionen wählbar
  • Flatzone 1050mm
  • Fortschrittliches Wasser-Kühlsystem zur Vermeidung gegenseitiger Beeinflussung der Prozessrohre
  • Modularer Aufbau zur schnellen Installation und Inbetriebnahme

 

Prozesse

  • Annealing
  • Diffusion
  • Oxidation
  • LPCVD
  • PECVD

Optionen

  • Integrierter Lift zum automatisierten Bootshandling
  • Integrierte Bootsspeicher zur Pufferung und Kühlung der Prozessboote
  • Vollautomatisches Wafer-Transfer-System mit Cassette-to-Cassette Handling
  • Fast-Cool-System