Halbleiter

Als einer der führenden Entwickler und Hersteller von Produktionsequipment für die Halbleiterbranche bieten wir Ihnen ein breites Prozessspektrum für verschiedene Technologien und Anwendungen, wie Logik-, und Speicherbauelemente (z.B. Flash, DRAM), Leistungshalbleiter (z.B. Si, SiC basiert), LED, SMT, MEMS oder Sensortechnik an.

  • Ausheilung (z.B. Implant Annealing, Diffusion),
  • Erzeugung (z.B. LPCVD, Plasmaoxidation, RTO)
  • Modifizierung (z.B. Nitridierung von Oxiden und Silicidbildung) von Schichten


Unser Team von hoch qualifizierten Prozesstechnologen bietet innovative Lösungen für die stetig wachsenden Anforderungen der Branche nach immer kleineren, funktionelleren und schnelleren Elektronikbauteilen.
Hierbei kommen zum Einsatz:

  • Horizontale und vertikale Batchöfen (atmosphärisch oder im Niederdruckbereich)
  • Einzelscheibenanlagen, Single Wafer Equipment (lampenbasierte Schnellheizsysteme (RTP) und mikrowellenbasierte Niedertemperaturplasmaoxidationsysteme)
  • Vertikale Hochtemperaturöfen (Annealing bis 2000 °C und Oxidation bis 1350 °C)


Diese Anlagen bieten Ihnen ein Höchstmaß an Flexibilität für Ihre individuellen Anforderungen. Bei der kontinuierlichen Neu- und Weiterentwicklung unserer Anlagen gehen wir im Hinblick auf Prozessqualität, Sicherheit und Produktionseffizienz keine Kompromisse ein und garantieren Ihnen zu jeder Zeit den centrotherm Qualitätsstandard, der die Halbleiterindustrieanforderungen beinhaltet. Dafür stehen in unseren Reinraum-Applikationslaboren an unserem Stammsitz in Blaubeuren sowie an der Universität in Hannover Systeme zur Technologieentwicklung und zur Kunden-spezifischen Prozessdemonstration zur Verfügung.

Neben unseren Kooperationen mit namhaften Partnern aus Industrie und Forschung arbeiten wir auch mit Kunden in gemeinsamen Forschungsprojekten und stehen diesen mit Engineering-, Service- und Beratungsleistungen zur Seite.