Trockenofen
Durchlaufofen für das Trocknen der Metallisierungspasten in der Solarzellenproduktion
Zur Trocknung gedruckter Metallkontakte auf den Wafern bietet centrotherm photovoltaics speziell für die Massenproduktion entwickelte Trockenöfen an. Die Durchlauf-Trockenöfen zeichnen sich durch einen hohen Durchsatz sowie hohe installierte Trocknungsleistung, modulare Bauweise und gezielt justierbare Luftströme aus. Dadurch wird ein präziser Trocknungsprozess gewährleistet.
Eine leistungsfähige integrierte Kühlstrecke mit Luft-/Wasserwärmetauschern kühlt die getrockneten Wafer vor der Übergabe an folgende Prozessschritte verlässlich auf nahezu Raumtemperatur ab.
Optional können unsere Trockenöfen mit Abluftkondensatoren zur Abgasreinigung ausgestattet werden.
- Geeignet für Wafer mit Kantenlänge 5“ und 6“
- In einspuriger und zweispuriger Ausführung, entsprechend dem gewünschten Durchsatz
- Modulbauweise für eine optimal angepasste Trocknungsleistung
- Verschiedene Gurtvarianten verfügbar: Flachgurt, Gurt mit Kantenauflage oder Aufständerung
- Vollautomatisierter Arbeitsmodus
- Hohe Verfügbarkeit und Langzeitstabilität
- Einfache Wartbarkeit durch pneumatische Prozesskammeröffnung
- SECS GEM Schnittstelle, Einzelwafer-Tracking
- Horizontale Integration mit vor- und nachgeschalteten Prozesschritten
Prozesse
- Trocknung von Metallisierungspasten
Hinweis: Die centrotherm photovoltaics AG behält sich das Recht vor, die angegebenen Produktspezifikationen jederzeit und ohne Ankündigung zu ändern.
