Lasersystem

c.LAS verbindet eine ausgezeichnete Prozessleistung mit einer geringen Stellfläche und niedrigen Gesamtbetriebskosten. Das lineare Transportsystem garantiert einen einfachen Wafertransport mit einer geringen Bruchrate.

Der modulare Aufbau des Lasers ermöglicht einen einfachen Service-Zugang zu allen Anlagenkomponenten, das den Zeit- und Kostenaufwand für die Instandhaltung verringert. Das System bietet dem Kunden eine hohe Flexibilität bei der Abstimmung des Durchsatzes auf die gesamte Linie.

Die neuartige Konfiguration des Abluft- und Filtersystems ermöglicht den Betrieb in Reinräumen und erfüllt gleichzeitig hohe Sicherheitsstandards.

c.LAS kann mit verschiedenen Laserquellen für unterschiedliche Anwendungen ausgerüstet werden. Die Basisausführung für die selektive Emitter-Technologie ist mit einem Hochleistungs-Grünlaser, speziell für die Solarzellenproduktion ausgestattet. Diese Konfiguration erlaubt einen hohen Durchsatz mit sehr homogener Leistungsverteilung im Laserbrennfleck, die das Risiko der Waferbeschädigung minimiert. Der Einsatz des automatischen Kalibrierungsscanners für Hochleistungslaser gewährleistet zudem eine ausgezeichnete Langzeitpräzision.

• Konzipiert als Upgrade für Produktionslinien (Anlagen + Prozess) zur Steigerung des Zellwirkungsgrades
• Markführend in Prozess-Know-how für die selektive Emitter-Technologie
• Hohe Exaktheit durch Multi-Kamera-Wafererkennung
• Hoher Durchsatz
  
• Gute Skalierbarkeit
  
• Sehr geringe Bruchrate
• Homogenes Laserstrahlprofil: flat top
• Hochgeschwindigkeits-Scanneroptik
• Geringe Gesamtbetriebskosten
  

Prozesse

• Vorderseiten-Laserdiffusion (selektiver Emitter)
• Vorderseiten-Laserablation (selektiver Emitter)
• Laserprozesse für die Rückseite (z.B. Öffnung dielektrischer Schichten)
  
• Weitere Prozesse auf Anfrage

Hinweis: Die centrotherm photovoltaics AG behält sich das Recht vor, die angegebenen Produktspezifikationen jederzeit und ohne Ankündigung zu ändern.