High-Throughput Diffusionsofen

Der High-Throughput Diffusionsofen von centrotherm ermöglicht eine hervorragende Phosphordiffusion mit einer zuverlässigen Realisierung eines hohen Emitterwiderstandes. Der durchsatzoptimierte Rohrofen ist auf die vielseitigen Anforderungen der Solarzellen-Massenproduktion ausgelegt und bietet eine herausragende Prozess-Performance.
Die Batchanlage zeichnet sich durch ihre hohe Flexibilität hinsichtlich wechselnder Produktionsauslastung und Variation der Prozessführung aus. Zusätzlich ist bei Wartung oder Abschaltung einzelner Rohre der fortlaufende Betrieb sichergestellt.
Je nach Prozessanforderung, Kapazität und Automatisierungsgrad ist der Ofen in verschiedenen Ausführungen verfügbar.

• Durchsatzsteigerung von 15 – 25 % gegenüber der Standardausführung
• Diffusion auf beiden Waferseiten (Qualitätssteigerung durch Gettereffekt)
• Hohe Verfügbarkeit durch Redundanz
• Höchste Reinheit (rückstandsfreie Gasphasendiffusion)
• Konfiguration je nach Produktionskapazität (Anzahl Prozessrohre, optionale back-to-back Beladung)
• vollautomatischer Boottransport garantiert eine maximale Rohrauslastung
• Modularer Aufbau ermöglicht einfache Installation und Inbetriebnahme
• Bis zu 5 unabhängig betriebene Quarzrohre
• Wasser-Kühlsystem vermeidet eine gegenseitige thermische Beeinträchtigung der Prozessrohre
• Minimale Wärmebelastung der Produktionsumgebung und kleine Stellfläche vermindern die Gesamtbetriebskosten

Prozesse

• Diffusion (POCl₃, BBr₃)
• Annealing
• Feuchte und trockene Oxidation (optional: DCE, HCl)
• Weitere Prozesse auf Anfrage

Hinweis: Die centrotherm photovoltaics AG behält sich das Recht vor, die angegebenen Produktspezifikationen jederzeit und ohne Ankündigung zu ändern.