Feuerofen

Der centrotherm Feuerofen ist für das Ausbrennen von Lösungsmitteln und das Feuern der Metallisierung konzipiert. Der Ofen bietet einen hohen Durchsatz und eine hervorragende Prozesssicherheit mit exzellenter Ausbeute und Betriebszeit. Die benutzerfreundliche Software-Schnittstelle ermöglicht eine schnelle und einfache Prozessparameterkontrolle und Funktionsdiagnose.
Der Ofen wird den Kundenanforderungen entsprechend gefertigt. Der optional integrierte Trockner ermöglicht zudem die Integration des letzten Trockenprozesses einer Solarzellen-Metallisierungslinie.

• Hohe Aufheiz- und Abkühlraten sorgen für eine ausgereifte Prozesskontrolle
• Eisenfreies Transportband (optional: Wafer-Stand offs) und Gurtauflagen aus Quarzglas minimieren das Kontaminierungsrisiko
• Detaillierte und stetige Prozessüberwachung garantieren höchste Output-Qualität
• Kurzwellige Infrarot-Strahlerelemente mit permanenter Funktionsüberwachung sorgen für eine optimale Prozessumgebung
• Einzel- oder Doppelspur-Ausführung
• Wasserkühlung und ausgereifte Wärmedämmung minimieren den Abwärmeeintrag der Produktionsumgebung
• In-situ Gurtreinigung (Bürsten, optional: Ultraschall)

Prozesse

• Feuern der Vorderseitenkontakte
• Legierung der Rückseitenkontakte
• Überkompensation der n+ Schicht und Gettern der metallischen Verunreinigungen (Al-BSF-Bildung)
• Freisetzung des Wasserstoffs aus der SiN-Schicht zur Passivierung von Kristallgitterschäden
• Optional: Trocknen der Metallpaste

Hinweis: Die centrotherm photovoltaics AG behält sich das Recht vor, die angegebenen Produktspezifikationen jederzeit und ohne Ankündigung zu ändern.