F&E-Anlage

Die centrotherm F&E-Anlage ist für die vielseitigen Anforderungen der Forschung und Entwicklung in der Solarzellenproduktion konzipiert. Neben der Prozessierung kleiner Chargen eignet sie sich auch für große Chargen zur Evaluierung in Produktionsumgebung.
Die Rohranlage zeichnet sich durch eine exzellente Prozess-Performance, eine kleine Stellfläche sowie niedrige Gesamtbetriebskosten aus und bietet eine hohe Prozessflexibilität für eine Vielzahl verschiedener Anwendungen.

• Bis zu 4 unabhängig betriebene Quarzrohre (optional: SIC)
• Je nach Prozess wählbare Kammeroptionen (verfügbar in 2- oder 4-Rohrausführung)
• Saubere automatisierte Bootbeladung (Soft Lander)
• Prozessierung kleiner (F&E) und auf die Produktion ausgelegter Chargen (Evaluation)
• Wasser-Kühlsystem vermeidet eine gegenseitige thermische Beeinträchtigung der Prozessrohre
• Minimierte Wärmebelastung der Produktionsumgebung
• Modularer Aufbau ermöglicht einfache Installation und Inbetriebnahme

Prozesse

• Atmosphärisch
  
  
  • Diffusion (POCl₃, BBr₃, optional: B₂H₆, PH₃)
  • Nass- und Trockenoxidation (optional: DEC, HCl)
  • Sintern der Kontakte
  • Tempern
• Niederdruck
  
  
  • PECVD
    • Oxid
    • Nitrid
    • Oxinitrid
  • LPCVD
    • Polysilizium (dotiert und undotiert)
    • Siliziumnitrid
    • Oxid (TEOS, LTO, HTO, etc.)
    • Oxinitrid

Hinweis: Die centrotherm photovoltaics AG behält sich das Recht vor, die angegebenen Produktspezifikationen jederzeit und ohne Ankündigung zu ändern.