Diffusionsofen

Der centrotherm Diffusionsofen ermöglicht eine hervorragende Phosphordiffusion mit einer zuverlässigen Realisierung eines hohen Emitterwiderstandes. Der Rohrofen ist auf die vielseitigen Anforderungen der Solarzellen-Massenproduktion ausgelegt und bietet eine herausragende Prozess-Performance.
Die Batchanlage zeichnet sich durch ihre hohe Flexibilität hinsichtlich wechselnder Produktionsauslastung und Variation der Prozessführung aus. Zusätzlich ist bei Wartung oder Abschaltung einzelner Rohre der fortlaufende Betrieb sichergestellt.
Je nach Prozessanforderung, Kapazität und Automatisierungsgrad ist der Ofen in verschiedenen Ausführungen verfügbar.

• Diffusion auf beiden Waferseiten (Qualitätssteigerung durch Gettereffekt)
• Kurze Taktzeiten und hohe Verfügbarkeit durch Redundanz
• Höchste Reinheit (rückstandsfreie Gasphasen-Diffusion)
• Konfiguration je nach Produktionskapazität (Anzahl Prozessrohre, optionale back-to-back Beladung)
• vollautomatischer Boottransport garantiert eine maximale Rohrauslastung
• Modularer Aufbau ermöglicht einfache Installation und Inbetriebnahme
• Bis zu 5 unabhängig betriebene Quarzrohre
• Wasser-Kühlsystem vermeidet eine gegenseitige thermische Beeinträchtigung der Prozessrohre
• Optional verfügbar als Niederdruck-Anlage
• Minimale Wärmebelastung der Produktionsumgebung vermindert die Gesamtbetriebskosten

Prozesse

• Diffusion (POCl₃, BBr₃)
• Annealing
• Feuchte und trockene Oxidation (optional: DCE, HCl)
• Weitere Prozesse auf Anfrage 

Hinweis: Die centrotherm photovoltaics AG behält sich das Recht vor, die angegebenen Produktspezifikationen jederzeit und ohne Ankündigung zu ändern.