Schlüsselequipment für die Solarzellenproduktion
Diffusion und Oxidation
High-Throughput Diffusionsofen
Durchsatzoptimierter Rohrofen für Diffusionsprozesse in der Solarzellenproduktion
Nitridbeschichtung
Durchsatzoptimierte Inline-Anlage für die Nitridbeschichtung in der kristallinen Solarzellenproduktion
Nitridanlage für die Vorbelegung von Prozessbooten nach der nasschemischen Reinigung
Metallisierung
Durchlaufofen für das Durchfeuern der Metallkontakte in der Solarzellenproduktion
Durchlaufofen für das Trocknen der Metallisierungspasten in der Solarzellenproduktion
Laserprozesse
Für hocheffiziente Laserprozesse in der Solarzellenproduktion
