Lab-CVD-Reaktor
Gewährleistet einen kontaminierungsfreien Prozessfluss in der Polysiliziumproduktion
Der centrotherm SiTec Lab CVD (Laboratory Chemical Vapour Deposition) Reaktor wird für die Sicherung eines kontaminierungsfreien Prozesses in der Polysiliziumproduktion benötigt. Er wurde sowohl für die Sicherung der Prozessqualität als auch für die Optimierung der Prozessparameter entwickelt und ist somit in zwei Ausführungen verfügbar:
Der Lab-CVD-Reaktor für die Qualitätskontrolle ist Teil der Qualitätsüberwachung des von centrotherm SiTec entwickelten Polysilizium-Herstellungsprozesses.
Er ist im Speziellen auf die Qualitätssicherung des Trichlorsilans (TCS) sowie weiteren, dem Prozess zugeführten Medien ausgelegt. Der zylinderförmige Druckbehälter ist aus Quarzglas gefertigt, um einen kontaminierungsfreien Prozess zu sichern.
Der Technologie-Lab-CVD-Reaktor wird für die Prozessoptimierung benötigt. Diese Ausführung verfügt über einen zum Produktions-Reaktor identischen Arbeitsdruck, so dass Prozessparameter simuliert und verifiziert werden können. Die Ergebnisse können einfach auf den Produktions-Reaktor übertragen werden. Sein im Gehäuse liegender Druckbehälter besteht aus rostfreiem Edelstahl, um dem hohen Druck standzuhalten.
Beide Ausführungen sind als umfangreiches und eingehaustes System mit integrierter Energieversorgung, Prozessgaszufluss und -kontrolle sowie Sensoren für ausströmendes Gas konzipiert.
- Vollintegrierter und produktionsfertiger Lab-CVD-Reaktor
- Analyse-Instrument für die Qualitätskontrolle und Trainingsanlage
- Hoher Automatisierungsgrad
- Unterstützung bei der Inbetriebnahme
- Lieferung inklusive Ersatz- und Verschleißteilen für die Endabnahme
Hinweis: Die centrotherm photovoltaics AG behält sich das Recht vor, die angegebenen Produktspezifikationen jederzeit und ohne Ankündigung zu ändern.
