CVD-Reaktor

Der centrotherm SiTec CVD (Chemical Vapor Deposition) Reaktor wurde für die industrielle Produktion von Polysilizium unter Anwendung des bewährten Siemens-Prozesses entwickelt, bei dem ein Gemisch aus Trichlorsilan (TCS) und Wasserstoff (H₂) als Prozessgas zum Einsatz kommt. Der Reaktor zeichnet sich durch seinen geringen Energieverbrauch und die hohe Produktionskapazität aus und eignet sich sowohl für die Photovoltaik- als auch für die Mikroelektronik-Industrie.

Der CVD-Reaktor ist in 18 Pair- und 24 Pair-Ausführung verfügbar: Während der 18 Pair-Reaktor eine jährliche Produktionskapazität von mindestens 175 metrischen Tonnen liefert und einen Energieverbrauch von weniger als 70 kWh/kg hat, produziert der 24 Pair-Reaktor jährlich mindestens 350 metrische Tonnen mit einem Energieverbrauch von weniger als 60 kWh/kg.

Der Reaktor besteht aus einem zylinderförmigen Druckbehälter, einer Bodenplatte sowie Elektroden und ist mit 18, bzw. 24 U-förmigen Reinstsiliziumstäben ausgestattet. Je nach Anforderung kann der Reaktor hinsichtlich Energieversorgung, HMI Kontrolle und Verrohrung kundenindividuell geliefert werden. Beide Ausführungen verfügen über einen integrierten Verdampfer, wobei die 24 Pair-Version zusätzlich mit einem System für die Wärmerückgewinnung geliefert wird. Dieses erzeugt genügend Dampf für den Betrieb einer gesamten Siliziumfabrik und ermöglicht eine erhebliche Senkung der Betriebskosten.

• Vollintegrierte und produktionsfertige Reaktoreinheit mit Gas- und Stromversorgung sowie Automatisierung
• Hohe Produktionskapazität
• Niedriger Energieverbrauch
• Garantierte Leistungsparameter
• Nachträgliche Kapazitätserweiterung möglich
• TÜV-geprüftes Equipment
• Fertigung gemäß kundenspezifischen Standards (AD2000, ASME, SELO)
• Inbetriebnahme und Start-up erfolgt durch ein erfahrenes Team der centrotherm SiTec

Hinweis: Die centrotherm photovoltaics AG behält sich das Recht vor, die angegebenen Produktspezifikationen jederzeit und ohne Ankündigung zu ändern.