Schlüsselequipment

CVD-Reaktor

Für die industrielle Produktion von Polysilizium unter Anwendung des Siemens-Prozesses

STC-TCS-Konverter

Für die Umwandlung von Siliziumtetrachlorid (STC) in Trichlorsilan (TCS)

Lab-CVD-Reaktor

Gewährleistet einen kontaminierungsfreien Prozessfluss in der Polysiliziumproduktion

Vent Gas Recovery (VGR)

Für die Rückgewinnung der Abgase aus CVD-Reaktor und STC-TCS-Konverter

Kristallisationsofen

Für die Herstellung von Ingots unter Anwendung der gerichteten Erstarrung

Für die Quadrierung multikristalliner Ingots mit Hilfe einer Diamantdraht-Technologie

Zerschneidet multikristalline Bricks unter Anwendung einer High-Speed Diamantdraht-Technologie