Sputteranlage
Für die Abscheidung der CIGS-Vorläuferschichten
Mit unseren Vakuumplasmabeschichtungsanlagen werden der Front- (Zinkoxid) und Rückkontakt (Molybdän) sowie die Absorberschicht (Kupfer-Indium-Gallium) auf das Substrat bzw. das Modul aufgetragen. Die Inline-Sputteranlagen beruhen auf erprobter Technologie zur reaktiven und nicht-reaktiven Sputterabscheidung und sind für vielfältige Schichtsysteme und Substratgrößen verfügbar.
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