centrotherm präsentiert neue Produktionslösungen für die Halbleiterindustrie auf der SEMICON Europa in München

Blaubeuren, 12.11.2018

  • Neuer Hochtemperatur-Prozess verdoppelt den Wafer-Durchsatz und reduziert die Prozessdauer um 50 Prozent
  • Anlagen-Cluster für die Massenproduktion von 300 mm Wafern

Zum Auftakt der SEMICON Europa stellt centrotherm (ISIN: DE000A1TNMM9 und DE000A1TNMN7) dem internationalen Publikum neue durchsatzstarke Produktionslösungen für die Herstellung von Leistungshalbleitern vor.

Für den centrotherm Horizontalofen c. HORICOO 200 wurde ein Drive-in-Prozess bei 1320°C entwickelt, der den Durchsatz von Siliziumwafern verdoppelt bzw. die Prozessdauer um 50 Prozent reduziert. Hierzu wurde ein neuartiges Heizkonzept in den Horizontalofen implementiert. Die Zuverlässigkeit und Leistungsfähigkeit des Prozesses wurde in der Massenfertigung demonstriert.

Mit dem c.HORICOO 300 betritt centrotherm das Feld für die Massenproduktion von 300 mm Siliziumwafern. Das Anlagencluster verfügt über acht Prozessrohre, die vollautomatisiert von einem Roboter beladen werden. Dadurch wird der Wafer-Durchsatz signifikant erhöht. Der durchsatzstarke c.HORICOO 300 überzeugt wie alle centrotherm Horizontalöfen durch exzellente Temperaturuniformität und Prozessstabilität, die von Kunden in der Halbleiterindustrie hoch geschätzt werden. Eine platzsparende Side-by-Side-Installation des Clusters sorgt für eine optimale Nutzung des Reinraums und damit für niedrige Betriebskosten.


Besuchen Sie uns auf der SEMICON Europa vom 13. – 16. November 2018 in München: centrotherm und die Tochtergesellschaft FHR Anlagenbau stellen ihre Produktionslösungen in Halle A 4669 vor.

 

Über centrotherm international AG

centrotherm entwickelt und realisiert seit über 60 Jahren innovative thermische Lösungen. Als führender, global agierender Technologiekonzern bieten wir Produktionslösungen für die Photovoltaik-, Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie an.

Die kontinuierliche Weiterentwicklung unserer erfolgreichen Lösungen in thermischer Prozessierung und Beschichtung wie z.B. für die Herstellung kristalliner Solarzellen und Leistungshalbleitern bilden die Basis für erfolgreiche Partnerschaften mit Industrie, Forschung und Entwicklung.

Unsere Kunden schätzen weltweit die Prozessstabilität, Skalierbarkeit und Verfügbarkeit unserer Produktionsanlagen in der Massenproduktion. Darüber hinausgehend zeichnet unsere Arbeit aus, dass wir für unsere Kunden spezifische, auf ihre Anforderungen zugeschnittene, anspruchsvolle prozesstechnische Lösungen schaffen und im Anlagenbau herausragend sind.

Gemeinsam stellen wir uns den täglichen Herausforderungen, neue Trends zu setzen, die Effizienz in der Herstellung z.B. von Solarzellen und Halbleitern zu maximieren und gepaart mit unseren langen Maschinenlaufzeiten, die Investitionen zu sichern. So generieren wir werthaltige Wettbewerbsvorteile für unsere Kunden durch zielgerichtete Innovationen von Prozessen und Produktionslösungen.

Weltweit setzen sich unsere rund 650 Mitarbeiter für eine Weiterentwicklung von hochtechnologischen Lösungen für Schlüsselmärkte ein.

 

centrotherm international AG
Württemberger Str. 31 
89143 Blaubeuren 
Internet: www.centrotherm.de 
WKN: A1TNMM (Inhaberaktien); A1TNMN (nicht notierte Aktien aus Sachkapitalerhöhung) 
ISIN: DE000A1TNMM9 (Inhaberaktien); DE000A1TNMN7 (nicht notierte Aktien aus Sachkapitalerhöhung) 
Einbeziehung: Freiverkehr (Basic Board) Frankfurter Wertpapierbörse Firmensitz: Deutschland

Kontakt:

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Manager Public & Investor Relations
Tel: +49 7344 918-6304
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