centrotherm thermal solutions stellt neuen Vertikalofen für die Serienproduktion auf 200 mm-Silizium-Wafern vor

SEMICON Europa - Stuttgart, 09.10.2007

SEMICON Europa

Die centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG präsentiert auf der SEMICON Europa 2007 mit dem verticoo 200 einen neuen leistungsfähigen Vertikalofen für die Serienproduktion auf 200mm-Silizium-Wafern. Die internationale Fachmesse findet vom 9. bis 11. Oktober in der Neuen Messe Stuttgart statt. centrotherm thermal solutions ist dort in Halle 1 am Stand 1024 zu finden.

Der neue Single-Tube Vertikalofen verticoo 200 ist als Doppelboot-System mit vollautomatischem Wafer-Beladesystem konzipiert, um maximalen Durchsatz und ein optimales Preis-/Leistungsverhältnis zu erreichen. Der integrierte Speicher für bis zu 20 Wafer-Kassetten ermöglicht das Be- und Entladen kompletter Bootbeladungen ohne Benutzereingriff. "Abhängig vom jeweiligen Prozess, können bis zu 175 Wafer pro Batch verarbeitet werden", sagt Dr. Harald Binder, Geschäftsführer der centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG in Blaubeuren. Das überarbeitete Design der Prozesskammer und das Heizsystem ermöglichen ein hohes Maß an Flexibilität für alle Standardprozesse – sowohl im Normaldruck- wie auch im Niederdruck-Bereich.

"Wir verbessern unsere bewährten Technologien kontinuierlich und entwickeln sie fort, damit unsere Kunden effizienter produzieren können", unterstreicht CEO Dr. Harald Binder. Zum Kundenkreis gehören insbesondere Hersteller aus dem Bereich Power Semiconductors und Automotive, die derzeit verstärkt investieren. Dr. Binder: "Darauf sind wir mit unseren neuen Produkten optimal vorbereitet".

Der Vertikalofen verticoo 200 ist für Side-by-Side-Installation geeignet und zeichnet sich durch eine kleine Standfläche von etwas über 3 qm aus. Er ist leicht zu warten und ermöglicht den sicheren und zuverlässigen Einsatz für viele Prozessschritte der Halbleiter-Herstellung – etwa Tempern, Diffusion oder Oxidation. Auch LPCVD-Prozesse (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) wie Poly-Silizium, Doped Poly-Silizium, Silizium-Nitrid, Silizium-Oxynitrid, TEOS, HTO und SIPOS werden abgedeckt.

"Wir werden auf der SEMICON Europe in Stuttgart neben dem verticoo 200 weitere Highlights aus unserem Produktionsprogramm zeigen", so Harald Binder. Darunter auch die neueste Generation der Vakuumlötanlage VLO20, die grundlegend überarbeitet und auf den neuesten Stand der Technik gebracht wurde, sowie neuerdings auch mit Lampenheizung für eine schnellere Aufheizrate verfügbar ist.

centrotherm thermal solutions konstruiert, produziert und vertreibt seit über 30 Jahren hochentwickelte Anlagen für thermische Halbleiter- und Photovoltaikprozesse sowie die Bauelemente­produktion. Die Produktpalette umfasst Horizontal- und Vertikalöfen, Durchlauföfen, Vakuumlötöfen sowie Prozesstechnologie. Dabei werden Anlagen für den Photovoltaikbereich exklusiv über die Schwestergesellschaft centrotherm photovoltaics AG angeboten.

centrotherm thermal solutions GmbH + Co. KG

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