Schlüsselequipment zur Herstellung kristalliner Solarzellen

centrotherm Diffusionsöfen zeichnen sich in der Serienroduktion kristalliner Solarzellen insbesondere durch ihren hohen Durchsatz bei vergleichsweise niedrigen Wartungs- und Betriebskosten aus. Die geschlossenen Quarzrohre ermöglichen einen ultrareinen Diffusionsprozess und tragen neben einer einfachen Realisierung eines hohen Emitterwiderstandes entscheidend zur Erhöhung der Zelleffizienz bei. Neben den Standardanlagen für die Serienfertigung bieten wir flexible Konfigurationen für die Forschung und Entwicklung an.

• Diffusion mit Phosphor und Bor (atmosphärisch und Niederdruck)
• Feucht- und Trockenoxidation
• Annealing
• 4- oder 5-Rohr-Ausführung
• hohe Verfügbarkeit durch Redundanz
• hoher Durchsatz und kurze Prozesszeiten durch optimierte Prozessabläufe
• höchste Reinheit

Unsere Produktpalette umfasst neben Batch-Diffusionsöfen auch Inline-Anlagen für die Durchlaufdiffusion. Durch die Inline-Konzeption ist neben einer hervorragenden Homogenität von Wafer zu Wafer ein fortlaufender Produktions- und Materialfluss gewährleistet. Unsere Inline-Diffusionsöfen sind als Rohr- und Ketten-Durchlauföfen erhältlich.

• Phosphordiffusion (POCl₃)
• Precursor für Phosphor und Bor
• Annealing
• hohe Verfügbarkeit durch Redundanz
• hoher Durchsatz und kurze Prozesszeiten durch optimierte Prozessabläufe
• niedrige Gesamtbetriebskosten (total cost of ownership)
• höchste Reinheit

Für die Antireflexbeschichtung, einem Schlüsselprozess bei der Zellproduktion, bietet centrotherm photovoltaics PECVD-Anlagen zur Abscheidung von Siliziumnitrid an. Die Anlagen eignen sich durch hohe Verfügbarkeit, geringe Wartungszeiten und niedrigen Betriebskosten optimal für die Serienproduktion. Neben PECVD-Anlagen enthält unser Produktportfolio Niedrigdruckanlagen mit hoher Prozessflexibilität für die Antireflexbeschichtung im Bereich Forschung und Entwicklung.

• hohe Verfügbarkeit durch Redundanz
• hoher Durchsatz und kurze Prozesszeiten durch optimierte Handling-Sequenzen
• niedrige Gesamtbetriebskosten (total cost of ownership)
• höchste Effizienz durch Direkt-Plasma-Abscheidung
• exzellente Passivierungseigenschaften durch Kontrolle des Wasserstoffgehaltes
• höchste Reinheit
• keine periodische Downtime (Reinigung erfolgt außerhalb durch Bootätzung)

centrotherm photovoltaics bietet Feueröfen für das thermische Einbrennen der Metallkontakte in das Silizium an. Diese Durchlauföfen zeichnen sich durch höchsten Durchsatz sowie niedrige Betriebs- und Wartungskosten aus. Zusätzlich sind unsere Feueröfen mit integriertem Trockner erhältlich, wodurch ein zusätzlicher Handlingschritt eingespart werden kann. Die hohe Gurtgeschwindigkeit ermöglicht in Verbindung mit der langen Burn-out-Zone eine kurze Durchlaufzeit bei einer Minimierung der organischen Rückstände.

• geeignet für Wafer bis 210 mm
• mehrspurige Öfen für höheren Durchsatz
• mit integriertem Trockner verfügbar
• optimal anpassbare Peak-Zone
• verschiedene Gurtvarianten erhältlich
• voll automatisierter Arbeitsmodus

Zur Trocknung der Metallkontakte auf den Wafern bietet centrotherm photovoltaics speziell für die Serienproduktion entwickelte Trockenöfen an. Die Durchlauf-Trockenöfen zeichnen sich durch einen hohen Durchsatz aus, wobei die Modulbauweise einen optimalen Trockenprozess gewährleistet. Unsere Trockenöfen sind optional mit Abluftkondensatoren zur Abgasreinigung der Trockenprozesse erhältlich.

• geeignet für Wafer bis 210 mm
• mehrspurige Öfen für höheren Durchsatz
• Modulbauweise für eine optimal angepasste Trockenleistung
• verschiedene Gurtvarianten verfügbar
• voll automatisierter Arbeitsmodus