Schlüsselequipment

Für die industrielle Produktion von Silizium hat centrotherm einen CVD-Reaktor entwickelt und konstruiert. Im CVD-Verfahren, der „Chemical Vapor Deposition“, wird Silizium aus der Gasphase abgeschieden. Als Ausgangsmaterialien werden Wasserstoff (H₂) und hochreines Trichlorsilan (TCS) eingesetzt, die bei hoher Temperatur und hohem Druck zu Silizium reagieren.

• verbessertes Design/Engineering
• erprobte Prozesse und Technologie
• niedriger Energieverbrauch: < 90 kWh/kg

Die „Miniaturausgabe“ des CVD-Reaktors ist das ideale Analysegerät für die Silizium-Qualitätskontrolle. Ebenso eignet sich der Reaktor hervorragend als Schulungsgerät für den CVD-Prozess. Die einfache Handhabung und ein hoher Automatisierungsgrad machen es zu einem sehr gefragten Produkt.

• Arbeitsdruck je nach Ausführung: 0,3 - 0,7 bar oder 1,0 - 7,0 bar
• Trichlorsilan-Verbrauch: ~ 20 kg pro Abscheidung
• Dauer des Abscheidungsprozesses: ~ 12 - 14 Std
• Dauer des Durchlaufs insgesamt: ~ 16 Std

Ergänzend zum CVD-Reaktor bietet centrotherm den passenden STC-TCS-Konverter an. Er wandelt das im CVD-Prozess entstehende Siliziumtetrachlorid in Trichlorsilan um. Dieses wird dem Prozess im Anschluss wieder zugeführt. Durch die Rückgewinnung von Trichlorsilan können die Produktionskosten für Silizium deutlich gesenkt werden.

• hohe Umwandlungsrate pro Durchlauf >16%
• hoher Gasdurchsatz: 3000 kg/h

Der centrotherm Kristallisationsofen wurde für die gerichtete Erstarrung zur Herstellung multikristalliner Ingots auf der Basis des Vertical Gradient-Freeze-Verfahrens konzipiert. Der Ofen besteht aus einem Edelstahl-Vakuumbehälter mit integriertem Wasser-Kühlsystem und ist mit einer elektromechanischen Öffnungsvorrichtung sowie einem integrierten Belade-mechanismus ausgestattet. Der vollautomatische Betrieb sowie die beiden separat steuerbaren Heizzonen gewährleisten eine optimierte Prozesssteuerung.

• Bis zu 450 kg Polysilizium Einwaage
• Optimierte Hot Zone für Jumbo Quartztiegel von 880 mm x 880 mm x 420 mm
• Zwei unabhängig steuerbare Heizzonen und ein integriertes aktives Kühlelement zur optimalen Steuerung der Kristallisation
• Integrierte Lade- und Entladevorrichtung
• vollautomatischer Betrieb

Die centrotherm Vent-Gas-Recovery-Anlage (VGR) dient der Rückgewinnung von Prozessgasen aus Reaktoren und Konvertern. Mit einer Hauptprozesskammer bestehend aus Destillations-kolonne und Kondensatoren bietet die VGR bereits in der Basisausstattung höchste Kondensationsleistung und enthält einen separaten Kondensationstank für den Zustrom der Konverterabgase.

• entwickelt für die Produktion von 2.500 t Polysilizium jährlich
• problemlose Integration der Destillationskolonne für die TCS-STC-Umwandlung in die VGR
• höchste Rückgewinnungsraten aller Prozessgas-Verbindungen durch sehr niedrige Prozesstemperaturen

• optional mit integriertem HCl Puffertank zur Regulierung des HCl-Vorlaufs und -Drucks zur perfekten Abstimmung mit gekoppelten Anlagen