Schlüsselequipment
Selenisierungsanlagen
Das centrotherm Selensystem besteht aus der Normaldruck-Abscheideanlage für Selen und dem Durchlaufofen zur Aktivierung der kompletten CIGS-(Kupfer-Indium-Gallium-Diselenid) Absorber-Schicht. Das System wird vervollständigt durch interne Handling-Vorrichtungen für die Glassubstrate sowie das Abluftreinigungssystem zur Rückgewinnung des überschüssigen Selens. Unser Selensystem ist integriert in eine schlüsselfertige Produktionslinie für CIGS-Dünnschichtmodule mit Wandlungseffizienzen von mindestens 12% in Glas-Glas-Dünnschichtmodule.
- Glasgrößen bis 1100 x 1400 mm2
- Produktionszyklus 60 Sekunden
- Kein Einsatz von toxischen Gasen
- Normaldruckverfahren ohne teure Vakuumpumpen
- Schnelle Herausbildung einer sauberen Halbleiter-Monophase (CIGS) in weniger als 60 Sekunden
Sputteranlagen
Mit unseren Vakuumplasmabeschichtungsanlagen werden der Front- (Zinkoxid) und Rückkontakt (Molybdän) sowie die Absorberschicht (Kupfer-Indium-Gallium) auf das Substrat bzw. das Modul aufgetragen. Die Inline-Sputteranlagen beruhen auf erprobter Technologie zur reaktiven und nicht-reaktiven Sputterabscheidung und sind für vielfältige Schichtsysteme und Substratgrößen verfügbar.
