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Schlüsselequipment

Selenisierung

Selen-Anlage

Für die Selenabscheidung und Bildung des CIGS-Absorbers

Selen-Annealingofen

Sputterabscheidung

Sputteranlage

Für die Abscheidung der CIGS-Vorläuferschichten

Sputteranlage

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