POCl3 Refill Upgrade

HORIBA POCl3 Refill System

centrotherm bietet in Kooperation mit HORIBA ein automatisches Refill-System für POCl3 an, das für sämtliche centrotherm Diffusionsöfen - sowohl mit atmosphärischer als auch mit Niederdruck-Prozesstechnologie - geeignet ist.

Ein einzelnes System ist in der Lage, bis zu 20 Prozessrohre, bzw. vier Öfen mit POCl3 zu versorgen, wodurch Arbeitsschritte und Ausfallzeiten, z.B. aufgrund von Behälteraustausch, eingespart werden. Es beinhaltet hochwertige und robuste PFA-Bubbler und kann den Verbrauch von nicht genutztem POCl3 um bis zu 15% minimieren.

Vorteile

  • Integrierte Bubbler aus robustem PFA anstelle von Quarz
  • Einsparung von nicht genutztem POCl3 um ~15%
  • Reduzierte POCl3 Chemiekosten
  • Minimierte Arbeitsschritte und Ausfallzeiten
  • Moderne Sicherheitstechnik