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PECVD Boot-Wartungs Upgrade

PECVD Prozessboot

centrotherm PECVD Anlagen sind auf eine maximale Anlagen-Uptime ausgelegt. Weil sich die Beschichtung ausschließlich auf die Wafer und Graphitboote beschränkt, bleiben die Prozessrohre weitestgehend von parasitärer Beschichtung unbeeinträchtigt und müssen lediglich alle ein bis zwei Jahre gereinigt werden. In der Regel ist die Reinigung und Rückätzung der Prozessboote durch das Auseinander- und Zusammenbauen zeit- und kostenaufwändig.

Die neuen patentierten centrotherm Prozessboote machen eine Demontage überflüssig und ermöglichen eine erhebliche Einsparung von Zeit und Personal. Zusätzlich werden Ausbeuteverluste und das Risiko von Bootbeschädigungen als Folge unsachgemäßer Handhabung minimiert.

Die zentralen Neuerungen sind modifizierte, mit Reinigungsschlitzen ausgestattete Keramik- und Graphit-Distanzplatten. Damit erfordert die Vorbereitung für das Rückätzen lediglich die partielle Lockerung weniger Verbindungsstifte während der Gesamtaufbau des Bootes bestehen bleibt.

Vorteile

  • Zeitersparnis bei der regelmäßigen Wartung der Prozessboote
  • Minimierung des Risikos für Beschädigungen an Bauteilen
  • Verminderung der Bootanzahl pro Anlage durch reduzierte Reinigungszeiten
  • Boottrocknung kann bei höheren Temperaturen erfolgen
  • Einschleusung von Ätzrückständen in die Reaktorkammer wird minimiert
  • Verhinderung von Ausbeuteverlusten durch fehlerhafte Bootmontage