Niederdruck-Diffusion Upgrade

Öffnung des Niederdruck-Diffusionsofens

centrotherm bietet Kunden mit atmosphärischen Longflat-Diffusionsöfen (DIFF-X-2000-300-5) die Möglichkeit, auf einen Niederdruck-Prozess aufzurüsten.

Mit Hilfe der Niederdruck-Diffusion wird eine verbesserte Homogenität bei hohen Emitter-Widerständen erreicht und der Durchsatz erheblich gesteigert. Für die Umsetzung aktueller und zukünftiger Hochleistungs-Zelltechnologien  ist das größere Prozessfenster, welches die Niederdruck-POCl3-Diffusion bietet notwendig.

Die Prozessrohre der Niederdrucköfen c.DIFF LP sind jeweils mit einem doppelt abgedichteten Schließmechanismus und einer entsprechenden Abgasleitung für die Behebung von POCl3-Kondensationsproblemen ausgestattet. Zudem kann dadurch ein rascher Wechsel der Gasatmosphäre zwischen unterschiedlichen Prozessrezepten vollzogen werden.

Zusätzlich können die Druckbereiche in großem Umfang variiert werden, so dass eine flexible Rezepturgestaltung gewährleistet ist. Die installierten Hochleistungs-Drucklflussregler (MFC's) ermöglichen zusätzlich eine schnelle Druckregulierung.

Vorteile

  • Hervorragende Homogenität bei hohen Emitterwiderständen
  • Maximale Prozessflexibilität
  • Sehr gute Reproduzierbarkeit
  • Minimierter Medienverbrauch
  • Durchsatzsteigerung durch Back-to-Back-Beladung
  • Reduzierte Stellfläche