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PECVD Wafer-Boot Upgrade

centrotherm arbeitet kontinuierlich daran, die Waferkapazität der Prozessboote zu steigern, um den Durchsatz bei gleichbleibender Zellqualität zu verbessern.
Bereits mit geringem Zeit- und Kostenaufwand können ältere Boote auf aktuelle Bootgrößen aufgerüstet und deutliche Kapazitätssteigerungen erreicht werden.
Im Zuge des Upgrades werden lediglich Rückflansch der Prozessrohre, HF-Lanzen und Handling-Komponenten ausgetauscht.
Außerdem stehen Ihnen centrotherm Technologen für die Optimierung von Qualität und Taktzeit des PECVD Prozesses zur Verfügung.

Vorteile

  • Verbesserung Ihrer Wettbewerbsposition
  • Senkung der Produktionskosten pro Wafer
  • Steigerung von Anlagendurchsatz und -ausbeute
  • Optimierung der Kapazitätsauslastung der Anlagen
  • Optimierung von Prozesskonfiguration und -zeit