Unsere Kernkompetenz ist die Entwicklung und der Vertrieb schlüsselfertiger Produktionslinien für die Fertigung kristalliner Solarzellen und -module, einschließlich aller Engineering- und prozesstechnologischen Dienstleistungen. Dazu bieten wir unseren Kunden Diffusionsöfen, PECVD-Anlagen, Trocken- und Feueröfen sowie Laserprozessanlagen als Schlüsselequipment an.

Unsere Fortschritte in der Solarzellenentwicklung integrieren wir als Technologie- und Equipment-Upgrades in bereits bestehende Produktionslinien. Unsere Kunden können so den steigenden Markt- und Kapazitätsanforderungen gerecht werden und langfristig auf dem neuesten Stand der Technik produzieren.

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Im Bereich Dünnschicht umfasst unser Angebot die Entwicklung und den Vertrieb von Produktionsequipment und Prozesstechnologie für die Herstellung von CIGS-Dünnschichtmodulen.

Zu unserer Produktpalette gehören Beschichtungsanlagen für das Sputtern von Molybdän, Indium, Kupfer, Gallium und Zinkoxid sowie Anlagen zur atmosphärischen Selenabscheidung und thermischen Umwandlung in die CIGS-Kristallphase.

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Wir entwickeln und produzieren High-Tech-Produktionsanlagen zur Herstellung eines großen Spektrums von Halbleiter-Bauelementen. Sie werden für eine Vielzahl von thermisch aktivierten Prozessen in verschiedenen Technologien und Anwendungen (z.B. Leistungshalbleiter, LED, Mikromechanik - MEMS, Sensortechnik) eingesetzt.

Unsere Produktpalette umfasst insbesondere Horizontal- und Vertikalöfen sowie Vakuumlötöfen. Wir bieten sowohl Anlagen für Standardprozesse mit Temperaturen zwischen 300 °C und 1.100 °C als auch Anlagen für Hochtemperaturprozesse bis 1.250 °C (Si-Technologien) oder für bis zu 1.850 °C (SiC-Technologien) an.

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